总体参数

TP3 管到被测sensor的距离

28   mm (可定制)

晶圆表面的宽波段辐照度

至少8 mW/cm² (详见测试报告)

被测sensor面积

直径60mm

建议测量区域大小

不超过直径 40mm

辐照度不均匀性

< ±2%  ，直径30 mm范围内

< ±3%  ，直径 50 mm范围内

<   ±5%  ，直径 60 mm范围内

辐射波段

 0.7µm 到 30 µm

发射光谱

类似于所设置的黑体温度对应Planck光谱

黑体参数

黑体温度范围

50°C 到550°C

建议 ≤ 500°C

黑体辐射面积

直径 120 mm

黑体辐射有效面积

直径 90 mm

调整分辨率

10mK

时间稳定性

不超过50 mK

控制方式

USB接口，PC控制

VAB 衰减器

透过率范围

0% 到 99%

调制分辨率

不少于 0.1%

洁净空气过滤器

有

控制方式

USB接口，PC控制

TP1/TP2/TP3   管

尺寸

 IP750 成像测试机定制尺寸

设计

管内有挡板，集成光学镜片和整形部件

透过率

1 µm 到30 µm范围内均匀透过

其他参数

工作温度

+5ºC到 35ºC

储存温度

-5ºC到 55ºC

工作湿度

不超过75%

储存湿度

不超过50%