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罗茨滑阀真空机组是由罗茨真空泵与滑阀真空泵串联组成,滑阀真空泵作为预抽真空泵以及罗茨真空泵的前级真空泵使用,罗茨真空泵作为主抽真空泵。罗茨真空泵与滑阀真空泵抽速比大小选择的主要依据是真空机组长期工作的真空度,真空机组长期工作区间在低真空,宜选择较小的抽速比(2:1至4:1),如果真空机组长时间在高真空工作,则可选择较大的抽速比(4:1至10:1)
·真空度高,中高真空区间抽气效率高,工作范围宽,节能。
·一体化机架,结构紧凑,占地面积小。
·自动化程度高,操作简单,维护方便,运行安全,可靠耐用。
·可以根据用户有具体需要,定制特殊的真空机组。
适用范围
广泛应用于真空镀膜、真空冶炼、真空热处理、真空干燥、真空浸渍、真空滤油、多晶硅生产、航空航天模拟试验等领域。