高真空分子泵排气机组
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上海首道真空设备有限公司
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进气过滤器
排气过滤器
进气滤芯
冷凝器
机组常规配置
·复合分子泵1台
·直联旋片泵1台
·角阀1套
·高真空复合真空计1套(包括CF35电离规、KF16热偶规)
·直径150mm×高200mm的真空室1套
·带脚轮、围板及不锈钢台面的小车1套
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