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高精度直线压电马达系列

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哈尔滨溶智纳芯科技有限公司

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产品简介

压电马达控制器是直线压电马达，内部采用 PZT 压电式驱动，直线运动行程可选6、10、 25、50、100mm，可达亚纳米级分辨率。可选配闭环伺服传感器（增量式编码器），具有更高的定位精度。可选移动台面。

高精度直线压电马达系列

● 直线测量有效长度的变化范围为25毫米至105 毫米

● 重达5KG负载的纳米级精度定位

应用领域

■ 有源减振器

■ 工业级精度定位

■ 半导体技术

■ 半导体测试

■ 晶圆检测

■ 平版印刷术

■ 纳米压印

■ 纳米测量

■ 强磁场和真空中运动

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