一维倾斜台一点支撑
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产品
◆ 高速响应;
◆ 压电陶瓷驱动;
◆ 重复定位精度高;
◆ 纳米级位移分辨率;
◆ 机体材料分铝合金;
◆ 具有开环和闭环两种;
◆ 采用数控、线切割等加工工艺。严格保证结构精度;
◆ 采用计算机有限元仿真分析设计微动结构;
◆ 采用表面处理工艺,提高了适应工作环境的能力
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