CANON 佳能 真空计 精密仪器
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CANON 佳能 真空计 精密仪器

M-342DGCANON 佳能 真空计 精密仪器

参考价: 订货量:
10000 1

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2024-04-04 11:36:11
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纳加霍里科技(内蒙古)有限公司

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产品简介

CANON 佳能 真空计 精密仪器
系列用途:半导体制造,液晶面板制造,真空装置,医疗食品行业。

详细介绍



详细介绍

     CANON 佳能 真空计 M-342DG是在压力传感器部采用小型硅MEMS芯片,将温度、振动、气压变动等外部环境的影响控制在最小限度,实现高精度稳定的压力测量、CANON 佳能 真空计 精密仪器最小限度的零点调整频率的隔膜真空计。


产品特性

CANON 佳能 真空计 M-342DG具有高精度稳定的压力测量

优异的零点稳定性

温度依赖性低,在没有温度调整机构的情况下实现优异的稳定性

优异的耐振动噪声性能

小巧、低功耗

重量200g、尺寸W46mm×H49mm×L106mm、重量轻且紧凑(※1)

功耗0.5W

※1质量和尺寸为接头NW16规格时


产品用途

CANON 佳能 真空计 M-342DG广泛支持真空中压力的高精度、长期稳定测量

半导体、显示器、太阳能电池等各种真空装置

·控制、监控溅射、PECVD等真空成膜工艺压力

·负载锁定室、晶片冷却等气体导入工艺、CANON 佳能 真空计 精密仪器系统的压力管理

医疗、生物、食品等各种产业,以及各种研究开发用途

各种涂层、等离子体处理、真空密封、真空炉、分析装置、灭菌、真空泵评价、分子蒸馏等


参数规格

型名M-342DG
-1D-1N-11-12-13
フルスケール圧力(Pa)13.33133.31.333k13.33k133.3k
測定精度(% of reading)0.20(at 23 ℃)
ゼロ点温度係数(% of F.S./℃)0.010.0050.002
スパン温度係数(% of reading/℃)0.010.005
分解能(% of Full-scale)0.010.005
測定下限圧力(% of Full-scale)0.01
実用測定下限圧力(% of Full-scale)0.05
実用制御下限圧力(% of Full-scale)0.5
応答速度(ms)10030
加圧上限200 kPa(但しNW16、NW25のものは内部が陽圧にならないこと)
*13.33 Pa仕様は130 kPa
電源電圧(VDC)+13.5~26.4
消費電力(W)0.5
アナログ出力(VDC)0~10
使用温度/保管温度(℃)0~50/-20~70(非動作時)
大ケーブル長(m)100(専用ケーブル)
ゼロ点調整方法プッシュスイッチ、リモート入力
入出力コネクタD-sub9ピン(オス)
接ガス部材質SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム
フランジ゙形状と質量NW16(200 g)、NW25(210 g)、8-VCR メス(250 g)、φ70ICF(460 g)
対応CEマーキング、RoHS、IP40
安全保障貿易管理規制非該当

图片_20240326072800.png


M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ)


常用型号

CANON 佳能 真空计 M-342DG

M-342DG-1D M-342DG-1N M-342DG-11 M-342DG-12 M-342DG-13 M-350PG-SD M-350PG-SP M-350PG-R S350PG-RS M-351PG M-361CP-SP M-361CP-RSRRS485 M-370CG-SP M-370CG-RS485 M-311-HG-RS311 SP M-336MX-RS RS485M-601GC M-603GC M-320XG M-431HG M-833HG M-723HG、M-823HG、M-923HG M-012DM MG-2、MG-2MG、MF LG-11SB-A UGD-1S B-A BRG-1B NIG-2F/NIG-2TF PG-150 TG-550C M-342DG-11,M-342DG-12,M-342DG-13 M-341DG-01,M-350PG-SD,M-350PG-SP M-350PG-RS,M-351PG-SP,M-360CP-SP M-360CP-RS,M-311HG-SP,M-311HG-RS M-336MX-SP,M-336MX-RS,M-601GC,M-603GC M-320XG,M-431HG,M-833HG,M-723HG M-823HG,M-923HG,M-012DM, MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF M-320XG-N16,M-320XG-N25,M-320XG-C34 M-320XG-C70,M-320XG-VG70,M-390,390-03CR 390-05CR,390-10CR M-336MX-SP-N25,M-336MX-SP-C7

图片_20240330231517.jpg



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