JENAer激光干涉仪

JENAer激光干涉仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2018-05-15 15:17:19
597
产品属性
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上海贝丁汉工业自动化设备有限公司

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产品简介

ZLM系列双频激光干涉仪是德国耶拿尔JENAer公司生产的新一代双频激光干涉仪。它是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪，不仅能够精确的测量数控机床的几何量，如线性度、直线度、垂直度、偏摆角、俯仰角、滚动角、平面度、同轴度、数控机床的回转量的测量和校准以及坐标机的调试等。

详细介绍

在德国，耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔（JENAer）公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中，由于具有*的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理，德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪，并非单频干涉原理。

产品功能
     定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。

性能优势
l          真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。*双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德国生产制造，绝非为了降低成本而在第三方国家进行部件加工。光学组件全部采用蔡司光学镜，是世界上*一家将*的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l          测量系统采用模块化设计，各种测量功能之间互不影响。若用户先期只需要干涉仪的部分功能（如仅测量直线度），则仅采购所需功能部分的光学部件（直线度光学镜），其他不需要的功能暂时可以不采购；若后期有其他功能的需求，补充采购功能对应的部件即可。
l          激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l          干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。
l          计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l          采样频率更快，zui高达1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l          被测物体zui大速度16m/s（可选）；采用高精度AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可高达为0.1nm）。
l          无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l          信号延时<200ns；对电磁干扰不敏感。
l          对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，请选用ZLM800型双频激光干涉仪，zui多可实现六轴联动。

工作原理
型ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为+/-0.002ppm，640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。
采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，ZLM700双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。

技术参数

型号：ZLM700
使用高性能数据处理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波长：
632.8 nm
激光稳频精度：
一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
系统精度（0-40℃时）：
±0.4ppm
光束直径：
6mm （可选3.2mm）
激光管突发zui大输出功率：
1mW （激光等级2）
每束光可测量的轴数：
1
线性测量距离：
40m，可扩展为120m
角度测量范围：
± 15°，20m轴线范围
平面度测量范围：
20m行程
直线度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程，
选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉仪
zui大速度：
4m/s，可选16m/s
80rad/s，角速度
zui大加速：
无限制
zui高采样频率：
内部1MHz，外部40MHz
预热时间：
10分钟
精度/非线性：
±0.3nm （角隅反射镜）
±0.1nm （平面反射镜）
距离测量分辨率：
0.6nm （角隅反射镜）
0.3nm （平面反射镜）
0.1nm 可选
距离测量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK时
（20°±0.5°） 真空中时
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
线性度测量分辨率：
0.6nm （角隅反射镜）
0.3nm （平面反射镜）
0.1nm 可选
线性度测量精度：
（20°±0.5°） 使用AUK时
（20°±0.5°） 真空中时
 
±0.4ppm （μ/m）
±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度测量精度：
±0.5ppm实测值
角度测量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
角度测量精度：
±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率：
0.015μrad （3x10-3 弧秒）
平面度测量精度：
±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直线度测量精度：
±0.5%实测值，2m行程
± 2.5%实测值，10m行程
垂直度测量分辨率：
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度测量精度：
±0.5%实测值2m，± 0.5弧秒*
±2.5%实测值10m，± 0.5弧秒*
数据接口：
积分信号
32 Bit （实时时间）
Dt » 20 ns
数据分析标准：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境：
温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
储存环境：
温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝

与欧洲某品牌激光干涉仪的参数对比
　
耶拿尔干涉仪
欧洲某品牌
　
型M700
型号：XX-XX
工作原理:
双频激光干涉原理（外差式, 频差640MHz）
单频零差式激光干涉原理，采用远程干涉测量法
波长:
632.991nm
632.991nm
激光输出功率:
<1mW Class II （可选 Class 3R）
<1mW Class II
1小时内稳频精度:
0.002ppm
0.04ppm
产品寿命内稳频精度:
0.02ppm
0.1ppm/年
寿命:
约20000小时
约8000小时
稳定工艺:
温度稳定法（对两种模式进行比较，外差式）
零差式（1种模式）
激光束直径:
6mm （可选3.2mm）
6mm
每束激光可测量的轴数:
1-6
1
测量范围
　
　
距离 :
0...40m，可选120m
0...40m，可选80m
角度:
± 15°，轴线范围20m
± 5° ，轴线范围15m
直线度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
垂直度:
0-2m 或 0-10m
0.1-4m 或 1-30m
分辨率
　
　
距离 （使用角隅反射镜） :
0.6 nm，速度v= 4m/s
1nm，速度v=4m/s
　
0.3 nm，速度v= 2m/s
　
　
0.1 nm，速度v= 1m/s
　
角度:
0.003角秒（0.015µrad）
0.1µrad
直线度（短距离）:
7nm
10nm
垂直度（短距离）:
7nm
10nm
直线度（长距离）:
36nm
100nm
垂直度（长距离）:
36nm
100nm
精度
　
　
距离:
+/-0.4ppm
+/-0.5ppm
角度:
+/-0.1ppm
+/-0.6%实测值
直线度（短距离）:
+/-0.5%实测值
+/-0.5%实测值
垂直度（短距离）:
+/-0.5%实测值
+/-0.5%实测值
直线度（长距离）:
+/-2.5%实测值
+/-2.5%实测值
垂直度（长距离）:
+/-2.5%实测值
+/-2.5%实测值
光学镜（直线度用）:
差分干涉镜
无（仅使用一个Wollaston棱镜）
系统的线性度:
非常好（这是因为使用了差分干涉镜）
不明（取决于Wollaston棱镜质量）
可测量到的偏差范围
　
　
直线度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
垂直度:
+/- 5mm
+/-2.5mm
辅助调节:
计算机辅助调节
小孔
接口:
PCI
USB
　
cPCI （PXI）
　
　
USB
　
　
AquadB （积分信号）
　
　
32bit实时
　
采样速度:
 0.001Hz - 1MHz （可调）
50 kHz

ZLM700部分应用的光路图


 

 

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