一直以来，腐蚀就是高温化学泵严重的危害之一，稍有不慎，轻则损坏设备，重则造成事故甚至引发灾难。所以，高温化学泵如果是抽取一些有腐蚀性的介质就要特别注意。
例如：硫酸是用途非常广泛的重要工业原料之一，不同浓度和不同温度的硫酸对材料的腐蚀区别非常大，对于浓度在80%以上、温度小于80℃的浓硫酸，碳钢和铸铁有较好的耐腐蚀性，但它不适用于高速流动的硫酸，不适用作高温化学泵的材料；普通不锈钢如304(0Cr18Ni9)、316(0Cr18Ni12Mo2Ti)对硫酸介质也是用途有限的。
一般金属大多在高温化学泵运行时被迅速腐蚀破坏，不锈钢是应用非常广的耐腐材料，对常温下一切浓度的硫酸都有良好的耐蚀性，值得一提的是含钼的不锈钢(如316、316L)对硫酸耐蚀性不仅不优于普通不锈钢(如304、321)，有时甚至不如。而对于高温浓硫酸，通常高温化学泵会采用钛及钛合金材料。