ND-SIH4-半导体厂房硅烷气体泄漏检测-广州市诺达电子有限公司手机版

详细介绍

什么是硅烷气体

硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更**的硅氢化合物。目前应用**多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上**的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造**陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。

功能简介

★速核系统：采用高精度32位高速微处理器，Epsion数据处理系统，速测危害气体，高效预警毒气泄漏；

★多级标定：业内智能化多级校准技术，多重滤波技术，更精准更快速地反馈现场浓度值；

★自动标定：通入实际标气，无需标定员操作，真正智能识别标定；

★稳定：经过严格的进料筛选工序，及行业经验十几年的研发人员匠心打造，抗EMC、EMI干扰，大幅度提高一线侦察兵的可靠性；

★多结构的通讯方式：支持4-20mA与RS485单路或多路同时通讯，有线与内置无线433M/GPRS等无线多路通讯（选配）；

★规范标准：JJF 1363-2012,JJF 1368-2012,JJF 1421-2013,JJF 1364-2012;GB3836-2010,GB 12476.5-2013;

检测气体	硅烷		量程		0-10PPM/0-20PPM/0-50PPM/0-100PPM/ （更多量程可以咨询）；
分辨率	0.01PPM /0.1PPM/1PPM		检测原理		电化学原理/PID光离子原理
精度	≤±3F.S		显示方式		320*240 高清彩屏
响应时间	T90＜30S		恢复时间		≤30S（T90-T10)
使用寿命	传感器2-3年		检测方式		扩散式
重复性	≤±1 %F.S		继电器		容量 220VAC 3A/24VDC 3A
无线输出（选配）	433M（≤无障碍3公里）（定制） GPRS（无距离限制）（定制） WIFI/zigbee/LORA （定制）		有线输出（选配）		485+开关量输出（标配） 4-20mA+RS485+开关量报警输出（定制）以上任选一种
防护等级	IP66		防爆等级		隔爆型：ExdⅡCT6 Gb
尺寸	20514092mm(L×W×H)		探头材质		铝合金、不锈钢（可选）
安装方式	壁挂式、杆装式、管道式		重量		1KG
工作电压	12－35VDC，常用 12VDC、24VDC		电气接口		接线口尺寸：内螺牙 M20*1.5（ G1/2 内螺牙、 G3/4 内螺牙、 1/2NPT
标准配件	探测器、说明书、红外遥控器、厂家出厂检测报告		选配件		防爆声光报警、安装支架、管道式安装配件等
工作环境	温度：催化燃烧：-40~+70℃；电化学：-20~+50℃；PID：-20~+50℃；红外：-20~+50℃；荧光法：-20~+50℃；氧化锆:-40℃~+700℃ 压力：86-110Kpa；（氧化锆：≤0.6Mpa) 湿度：15%RH~95%RH（无凝露）
产品功耗	电化学传感器：P ≤ 1.2W 红外传感器：P ≤ 2.0W 普通催化传感器：P ≤ 2.6W 低功耗催化传感器：P ≤ 1.5W 热导传感器：P ≤ 2.0W
执行标准	GB15311.1-2003； GB3836.1-2010； GB3836.2-2010； GB3836.4-2010；
气体选型	O3	0-100PPM		CH2O		0-10,50,100PPM
	CO	0-100,1000,2000,10000PPM		O3		0-1,10,50,
	H2S	0-50,100,1000,2000PPM		CH4		0-1,10,50,
	O2	0-30,		PH3		0-10,100,1000,5000PPM
	NH3	0-50,100,1000,2000PPM		H2		0-100,1000,5000,40000PPM,
	O3	0-5,10,50,100,1000,5000,10000PPM		N2		0-99%VOL
	CL2	0-10,20PPM		HCL		0-10,100,500,1000PPM
	NO	0-100,500,1000,5000PPM		SO2		0-10,20，100,500,1000,5000,40000PPM

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