该设备主要用于手机显示模组及有关产品的观察及尺寸测量。将工件放于显微镜下，使用不同的物镜对产品进行观察，对需要测量的位置使用带光栅的高精密移动平台结合数据处理软件进行尺寸测量，使用数字相机进行实时影像处理、观察以及拍照，实现对产品的尺寸以及外观检查。

测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力，和影像测量仪的 X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能，具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、科研、汽车行业、计量行业等领域的检测。

全套设备由以下几部分组成：

1、工具金相显微镜

2、定制测量软件

3、630万像素USB3.0高速相机（3帧），可选12万（2帧）和2万像素（12.5帧）

4、外设（计算机）

技术参数

1、测量显微镜；

1）显微镜类型：工具金相显微镜;

2）放大倍数：放大50、100、200、500倍；可以选配1000倍

3）光源类型：5W白光LED灯；

4）视场数：22；

5）照明方式：反射光，科勒照明/透射光普通照明；

6）观察方法：明场；

7）微分干涉：DIC微分干涉成像；（干涉片为选配）

8）物镜转盘：5孔明场物镜转盘；

9）物镜类型：平场复消色差物镜；

10）载物台结构：三层机械结构高精度移动载物台

11）测量行程：X轴300mm，Y轴200mm，Z轴200mm

2、测量软件

1）实时影像观察

2）实时图像抓取

3）二维几何尺寸测量

4）测量结果报表输出

5）多分辨率切换

3、高精度载物台

1）XY行程300X200mm，台面450*350mm

2）平台光栅显示精度值0.5um，可以选配0.1um

3）传动方式：手动

4、Z轴测量准确度

1）Z轴光栅显示精度值0.5um（可以选配0.1um），测量精度在3-5um

2）传动方式：手动