中图仪器 品牌
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中图国产光学轮廓仪SuperViewW系列基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
产品特点
1、干涉物镜
不通倍率的镜头,适应于从超光滑到粗糙度各种表面类型的样品。
2、双通道气浮隔振系统
外接气源和加压装置直接充气的双通道气浮隔振系统,可有效隔离地面传导的振动噪声。
3、声波隔振防护
仪器外壳与内部运动机构采用了分离式设计,有效隔离了声波振动的传导。
4、水平调整装置
倾斜调整旋钮,调整条纹宽度,提高3D图像的重建精度。
5、便携式操纵杆
采用人体工程学设计,集成了XYZ三轴位移和速度、光源亮度的自动控制,并配有紧急停止按钮。
6、真空吸附台
专为半导体晶圆片定制的真空吸附台,确保样品在测量过程中不受空气中微弱气流扰动的影像。
7、3D重建算法
自动滤除样品表面噪点,在硬件系统的配合下,测量精度可达亚纳米级别。
1)样件测量能力:单一扫描模式即可满足从超光滑到粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的测量;
2)单区域自动测量:单片平面样品或批量样品切换测量点位时,可一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;
3)多区域自动测量:可设置方形或圆形的阵列形式的多区域测量点位,一键实现自动条纹搜索、扫描等功能;
4)自动拼接测量;支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量;
5)编程测量功能:支持测量和分析同界面操作的软件模块,可预先配置数据处理和分析步骤,结合自动单测量功能,实现一键测量;
6)数据处理功能:提供位置调整、去噪、滤波、提取四大模块的数据处理功能;
7)数据分析功能:提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能。
8)批量分析功能:可根据需求参数定制数据处理和分析模板,针对同类型参数实现一键批量分析;
9)数据报表导出:支持word、excel、pdf格式的数据报表导出功能,支持图像、数值结果的导出;
10)故障排查功能:配置诊断模块,可保存扫描过程中的干涉条纹图像;
11)便捷操作功能:设备配备操纵杆,支持操纵杆进行所有位置轴的操作及速度调节、光源亮度调节、急停等;
12)环境噪声评价:具备0.1nm分辨率的环境噪声评价功能,定量检测出仪器受到外界环境干扰的噪声振幅和频率,为设备调试和故障排查提供定量依据;
13)气浮隔振功能:采用气浮式隔振底座,可有效隔离地面传导的振动噪声,确保测量数据的高精度;
14)光源安全功能:光源设置无人值守下的自动熄灯功能,当检测到鼠标轨迹长时间未变动后会自主降低熄灭光源,防止光源高亮过热损坏,并有效延长光源使用寿命;
15)镜头安全功能:双重防撞保护,软件ZSTOP防撞保护,设置后即以当前位置为位移下限位,不再下移且伴有报警声;设备配备压力传感器,并在镜头处进行了弹簧结构设计,确保当镜头碰撞后弹性回缩,进入急停状态,大幅减小碰撞冲击力,有效保护镜头和扫描轴,消除人为操作的安全风险。
Xtremevision Pro
全自主开发的第二代显微3D测量软件平台,集成了图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量等四个大的功能模块,能够适配中图W系列、VT系列、WT系列所有3D仪器机型,可自主识别机型种类,二合一机型可在白光干涉和共聚焦显微镜中做到自动切换扫描模式。
Xtremevision Pro 移植了中图在影像闪测领域的成功经验,重构了显微影像测量功能,可针对微观平面轮廓尺寸的点、线间的距离、角度、半径等参数进行直接测量和自动匹配测量。
自动化mark点识别坐标定位自动化功能
Mark点影像识别自动坐标位置校正,多区域坐标点自动定位测量与分析,可组合式完成粗糙度、轮廓尺寸的批量自动化测量。
自动拼接功能
支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能,配合影像导航功能,可自定义测量区域,支持数千张图像的无缝拼接测量。
中图国产光学轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
型号 | W1 | |
光源 | 白光LED | |
影像系统 | 1024×1024 | |
干涉物镜 | 标配:10× 选配:2.5×、5×、20×、50×、100× | |
光学ZOOM | 标配:0.5× 选配:0.375×、0.75×、1× | |
标准视场 | 0.98×0.98㎜(10×) | |
XY位移平台 | 尺寸 | 320×200㎜ |
移动范围 | 140×100㎜ | |
负载 | 10kg | |
控制方式 | 手动和电动兼容型 | |
Z轴聚焦 | 行程 | 100㎜ |
控制方式 | 电动 | |
台阶测量 | ||
可测样品反射率 | 0.05%~100 | |
主机尺寸 | 700×600×900㎜ |
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