可以同时有探针扫描和样品台扫描两种模式。探针扫描利用电压驱动探针在大范围达到500x500微米的区域内移动并且产生*分辨率的图像。样品台扫描则是移动样品台来产生高分辨率的图像。因为电压驱动比XY轴运动更为精确所以探针扫描产生的图像要远远好于样品台扫描得到的图像。通过一个按键开关，可以选择三维轮廓仪使用探针扫描模式还是样品台扫描模式。

　　

　　结果组成：

　　1、三维表面结构：粗糙度，波纹度，表面结构，缺陷分析，晶粒分析等；

　　2、二维图像分析：距离，半径，斜坡，格子图，轮廓线等；

　　3、表界面测量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；

　　4、薄膜和厚膜的台阶高度测量；

　　5、划痕形貌，摩擦磨损深度、宽度和体积定量测量；

　　6、微电子表面分析和MEMS表征。

　　

　　形貌仪主要应用领域：

　　1、用于太阳能电池测量；

　　2、用于半导体晶圆测量；

　　3、用于镀膜玻璃的平整度（Flatness)测量；

　　4、用于机械部件的计量；

　　5、用于塑料，金属和其他复合型材料工件的测量。