FM-CVD 石英管式微波等离子体装置

    石英管式微波等离子体装置是我厂专门为大学和研究机构设计的小型化产品，可用于薄膜材料的

制备和等离子体物理等方面的研究工作，并且特别适宜于大中专学校的材料、化学工程与工艺、物理

等专业的学生实验。该装置利用微波能激励稀薄气体放电在石英管中产生稳态等离子体，通过通入不

同的工作气体，可进行功能薄膜材料的制备、化学合成、表面刻蚀、等离子体诊断等多方面的实验。

一、FM-CVD 石英管式微波等离子体装置主要配置

   1. 2.45GHz，0~500W微波功率连续可调，可满足不同实验的要求；
   2. ф50mm的石英管真空室，带有一个观察窗和一个诊断窗口，保证各

种实验方便进行；
   3. 石英管采用水冷却，可保证装置在高功率条件下安全运行；
   4. 配置了3路气体管路，气体流量控制方便；
     真空测量系统及控制阀门可保证真空室所需的真空环境。

二、典型实验
    1. 等离子体化学气相沉积
       A（气）+B（气）→ C（固）+D（气）
     反应气体A、B被激发为等离子体状态， 其活性基团发生反应生成所需要的固态物沉积在基片上，可广泛用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜氮化碳薄膜、碳纳米材料等。
    2. 等离子体表面刻蚀
      A（气）+B（固）→ C（气）
     反应气体A 被激发为等离子体状态与固体B表面原子发生反应生成气态物C，可用于集成电路的刻蚀实验。
    3. 等离子体催化反应
     利用等离子体中丰富的活性成分，如紫外和可见光子、电子、离子、自由基；高反应性的中性成分，如活性原子，受激原子态，从而引发在常规化学反应中不能或很难实现的化学反应。
    4. 等离子体表面改性
      A（气）+B（固）→ C（固）
     反应气体A 被激发为等离子体状态与固体B表面发生反应生成新的化合物从而达到改变B物质表面性质的目的。可广泛用于高分子材料、金属材料及生物科研材料的表面改性实验。