5100系列金属密封型质量流量计控制器-北京北方华瑞自动化科技有限公司手机版

详细介绍

5100系列金属密封型质量流量计控制器

： 51292439
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	【设计特点】 - 高精度控制， - 全316L结构 - 金属密封

	【产地】:日本【产品尺寸图】

	【关联产品】 - GFM气体质量流量计/GFC质量流量控制器 - 3200系列高等级质量流量控制器 - 3660系列标准质量流量控制器 - D3810系列经济型质量流量计

【概述/特点】
KOFLOC公司简介: 日本Kofloc公司是一家专业制造质量流量计/质量流量控制器的厂家,在有广泛的销售和应用.该公司产品广泛应用于半导体,LCD,燃烧,实验室分析,生物工艺等场合.
【技术规格】
多种范围量程，实现高精度的快速控制流量范围：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM 控制阀：常闭，电磁隔膜阀反应时间：满量程2%范围内≤1.5秒精度：±1%以内线性：±0.5%以内重复性：±0.2%以内使用压差：范围≤5SLM时，49～294KPA，5SLM <范围≤20SLM时，98～294KPA 压力限制：980KPA 泄露率：1×10–11 Pa?m3/second 或更小操作温度：0～50°C 接触介质的材质： SUS316L，Au,PTFE 连接：， 1/4VCR,可选1/4SWL 控制信号：0-5VDC 输出信号：0-5VDC 电源：+15 VDC (±15%) 100 mA ， –15 VDC (±15%) 200 mA 安装方向：任何方位

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