应用领域：

Table PVD-15 一款小型电阻蒸发镀膜仪，主要特点是设备体积小，结构简单紧凑易于操作， 适用于实验室制备金属单质膜、 半导体膜、钙钛矿太阳能电池、锂电池、有机膜等，也可用作教学及生产线前期工艺试验等。 

 可镀制低熔点金属及合金材料薄膜，单层 / 多层 / 复合膜，（ Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Cr,Ni 等）；镀制非金属 / 化合物 等材料薄膜（ Mo03, LiF） 等；有机材料等蒸发；太阳能电池、LED 的研究和实验；描电镜制样等。

基本配置： 

◆真空腔室：Φ250mm(ID) x 300mm(H) 

◆真空系统：机械泵 + 分子泵两级真空系统 前级泵：VRD-16 机械泵，抽速：4L/S 主抽泵：分子泵，抽气速率：300L/S 主抽阀：CCQ-100 超高真空气动插板阀， 

◆极限真空：<5×10-5Pa 

◆恢复真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

◆真空测量：“两低一高” 数显复合真空计 

◆蒸 发 源：2 组金属蒸发源；（标配） 最多 2 个有机束源炉源；（选配） 

◆蒸发电源：采用恒压、恒流真空镀膜电源， 功率 2.4KW，电流调节精度：0.01A 

◆样品台：可容纳样品尺寸：3 英寸样品托一个 , 配挡板，转速 0-30rpm 连续可调 ; 样品可加热控温， 温度范围：室温 -300℃，控温精度 ±0.5℃； 

◆系统控制：10 英寸触摸屏 +PLC 控制（可选手动按钮控制）

◆工作气体 : 干燥压缩空气、氮气 

◆电 源 : 单相 220V , 50Hz, 16A 

◆冷 冻 水 :18-25℃ , 1L/min，压力 < 0.4MPa

选择配置： 

◆样品台可水冷，采用直接式水冷形式，水冷不控温 

◆全量程真空计（ Inficon） 

◆速率 / 膜厚监控测仪（SQM-160） 

◆可选进口蒸发电源 

系统要求标准配置： 

◆真空腔室：Φ250mm(ID) x 300mm(H) 

◆真空系统：机械泵 + 分子泵两级真空系统 前级泵：VRD-16 机械泵，抽速：4L/S 主抽泵：分子泵，抽气速率：300L/S 主抽阀：CCQ-100 超高真空气动插板阀， ◆极限真空：<5×10-5Pa 

◆恢复真空：<6.7×10-4Pa(< 45 min) 

◆真空测量：“两低一高” 数显复合真空计 

◆蒸 发 源：2 组金属蒸发源；（标配） 最多 2 个有机束源炉源；（选配） 

◆蒸发电源：采用恒压、恒流真空镀膜电源， 功率 2.4KW，电流调节精度：0.01A 

◆样品台：可容纳样品尺寸：3 英寸样品托一个 , 配挡板，转速 0-30rpm 连续可调 ; 样品可加热控温， 温度范围：室温 -300℃，控温精度 ±0.5℃； 

◆系统控制：10 英寸触摸屏 +PLC 控制（可选手动按钮控制）