DH-PECVD 等离子增强管式炉
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杭州大华仪器制造有限公司
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为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种 CVD 称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。
辉光放电等离子体中:电子密度高 10 9 -10 12 /cm, 电子气体温度比普通气体分子温度高出 10-100倍。
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