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仪器特点:
机型 | 手动测量台 | 自动测量台 | ||
测量主体 | 测量台尺寸(mm) | 170*110 | 240*220 | |
移动量 | X(mm) | 70 | 200 | |
Y(mm) | 70 | 200 | ||
Z(mm) | 50(zui大150) | 50 | ||
测定物zui大高度(mm) | 50(option 150) | 50 | ||
尺寸(mm) | 602(W)*463(D)*732(H) | |||
重量(kg) | 55 | 61 | ||
样品zui大何重(kg) | 3 | 1 | ||
电脑 | 尺寸(mm) | 本体182(W)*383(D)/显示幕412(W)*415(D)*432(H) | ||
电脑重量(kg) | 本体9/显示幕16 | |||
印表机 | 重量(kg) | 5.2 | ||
电源 | AC100V±10V(option AC115V、AC230 |
仪器详细介绍:
1. X線源 | 油浸式1.2mA小型微小焦點X線管. 50kV管電壓,可變管電壓。 | |
2. 照射方式 | 由上而下垂直照射方式。 | |
3. 檢出器 | 比例計數管。 | |
4. 濾波器 | 採用 Co 和 Ni 雙濾波器及數位式濾波器,可單一或同時使用。 | |
5. 準直儀 | Collimator 採用五種孔徑一體成型式,可自動切換使用。 0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜. (選購) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜. (選購) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜. | |
6. 樣品觀測系統 | 彩色CCD及高畫質顯示幕。 | |
7. 多能譜分析器 | 使用256高頻分析器,光譜自動分析,在執行測量及運算時,非常快速。 | |
電腦操作部: | 8. 電腦系統(※僅供參考) | IBM 相容中文個人電腦. CPU:In Celeron 1GHz. RAM:128 MB. Floppy Disk:3.5 ×1, 40倍速 CD-ROM ×1. Hard Disk:40 GB. 17" 高畫質顯示幕. EPSON彩色噴墨式印表機。 |
9. 本機型(COSMOS-1X系列)之操作系統採中文視窗(Windows98)對話式操作,非常簡便。 | ||
特性說明: | 10. 測量項目 | 單層膜厚測定. 2層膜厚測定. 3層膜厚測定. 無電解鎳膜厚測定. 合金膜厚成份比同時測定. 元素的光譜峰值測定分析. |
11. 測量材質 | 原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。 原子序22以下為吸收法測量。 | |
12. 測量範圍 | 原子序22 ~ 24 , 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 , 約 0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51 , 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 , 約 0.05~ 10 um. | |
13. 測量機能 | 同一點重複測定機能 輸出形式設定. 能譜測定. | |
14. 測量條件或膜厚規格可以保存 | 當要測量相同的製品時,若測量條件已儲存,可以馬上進行測量。 zui大檢量線檔案數:可登錄儲存100組檔案。 zui大測量檔案數 :可登錄儲存300組檔案。 | |
15. 檔案記錄 | 每一個批號可儲存無限個測量資料.(因所使用的電腦之容量大小而定) 每一個測量檔案可輸入及儲存公司名稱. 每個批號可單獨執行統計處理. 每個測量檔案可輸入不同的檢量線(校正曲線). | |
16. 資料處理 | 統計值表示:平均值、標準偏差、zui大值、zui小值、上下限值範圍、Cp、Cpk。 X-R 管制圖. 柱狀圖:有自動設定及自己任意設定二種方式。 可彩色列印觀物顯示幕上所觀測之圖像。 | |
17. 底材補正 | 當樣品與標準片的底材不同時,可作底材補正。 | |
18. 觀物顯示幕 | 十字刻度線的高解析度彩色觀物顯示幕 | |
安全裝置. | 19. 本機俱有自動安全斷電系統功能. | |
20. 由鎖匙開關來控制X 線輸出,以防止外人任意操作. | ||
其他機能. | 21. 密碼辨識功能 | |
22. 裝置維護調整 | ||
23. 測量部主機 | 尺寸:362(W) ×425(D) ×486(H) ㎜. 重量:約 44.2 Kg. | |
24. 操作部:(※僅供參考) | 電腦尺寸:180(W) ×420(D) ×360(H) ㎜. 重量:約 8.8 Kg. 顯示幕尺寸:360(W) ×420(D) ×370(H) ㎜. 重量:約16.5 Kg. 印表機尺寸:500(W) ×250(D) ×300(H) ㎜. 重量:約 4.3 Kg. | |
X-Y-Z軸可移動式測量台 | 25. 測量台尺寸及移動量. | 測量台尺寸 170 (W) ×100 (D) ㎜ 移動量(X-Y-Z軸) 70 ×70 ×50 ㎜. |
26. 測量樣品限制 | 樣品限制高度: 45㎜ 樣品限制重量: 3 Kg. | |
使用電源. | 27. 電壓 | AC100V ±10V ; 50/60Hz (選購) AC110V, AC220V. |
28. 容量 | 700V |