产品简介

这是HORIBA用于数字质量流量控制器的*型号。它具有多量程/多气体功能，使用户可以在现场快速轻松地更改气体类型或满量程流量。该质量流量控制器具有+/- +/- 1.0％SP的高精度，压电执行器阀，高速响应和全金属特性，适用于提高过程良率和简化零件管理。数字/模拟，DeviceNet™和EtherCAT®通信均可用。

详细介绍

商品详情

高性能数字式质量流量控制器 SEC-Z500X

型号 Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，SEC-Z514MGX，SEC-Z524MGXN，SEC-Z534MGX，SEC-Z544MGX，SEC-Z554MGX，SEC-Z564MGX，SEC-Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，

流量范围0.5sccm-500SLM

日本horiba堀场/厚礼博品牌的SEC-Z500系列属于高性能数字式热式质量流量控制器，主要应用MOCVD、PECVD等设备。

概要

热式质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。
HORIBA销售量高的数字式气体质量流量控制器，包含多气体/多量程功能以实现自由快速更改气体种类或满量程。
压电陶瓷阀实现高精度± 1.0% S.P.，快速响应，有效提高良率及简化备件管理。

特征

高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现所有量程上的高精度。为了更真实的反应实际气体精度，HORIBA STEC监测了不同的工艺气体并创建了针对不同气体的校正数据，建立标准气体管理系统，实现真实气体精度确认。

高速响应
装载“变量PID系统”可实现两设定点之间1秒内快速响应。变量PID基于流量设定点而持续变化。即使满量程或气体更改，也能不会影响PID功能。

多气体，多量程解决方案
HORIBA的配置软件可简单快速的更改MFC的规格。更好的是MFC的规格改变不需从设备端拆卸。此举有效减少MFC库存需求，极大减少时间和成本的浪费。