低流量微型比例阀 VSO-Low Flow
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实归(北京)科技有限责任公司
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特点:• 操作压力可以达到150 PSI,允许精确的低流量(0~500 sccm)控制,以提高仪器精度。• 氦泄漏率测试仅为0.2 sccm,使用寿命高达1千万次循环,保证了高重复性。• 通过热补偿保持理想的流量。• 所有阀经过分析级清洗,并氧气兼容。• 系列化性能可追溯。• 直流信号、脉宽调制信号的闭环反馈驱动,达到系统化的性能。• 通过RoHS 认证
典型应用:• 气相色谱• 质谱分析• 压力和流量控制• 质量流量控制
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