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/产/品/详/情
PRDUCT DETAILS
/SuperViewW1光学3D表面轮廓仪
技术参数
性能特点
高精度、高重复性：采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块和优异的3D重建算法组成测量系统；的隔振系统加持；
环境噪声检测功能：具备0.1nm分辨率的环境噪声检测模块，能够定量评估出外界环境对仪器扫描轴的震动干扰；
精密操纵手柄：集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成载物台平移、Z向聚焦、找条纹等测量前工作；
双重防撞保护措施：在初级的软件ZSTOP设置Z向位移下限位进行防撞保护外，另在Z轴上设计有机械电子传感器，限度的保护仪器；
双通道气浮隔振系统：既可以接入客户现场的稳定气源也可以接入标配空压机，在无外接气源条件下可稳定工作。
XtremeVision 3D测量分析软件
一体化操作软件,测量与分析同界面操作，预先配置好分析参数，软件自动统计测量数据，实现快速批量测量功能。
/应/用/实/例
APPLICATION INSTANCE
SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、工、科研院所等领域中。
应用案例
▲超光华陶瓷样件测量
▶复合材料测量
▶超疏水表面形貌测量
◀水机叶片磨损检测
