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岩田无油涡旋式干泵ISP-90ISP-250CISP-500CISP-1000
目前半导体、平板显示、太阳能光伏电池以及化学工业的发展迅速,对洁净真空的要求越来越高。为了满足客户对无油洁净真空的需求,岩田推出了ISP系列涡旋式真空泵。
1、ISP系列真空泵特点:
可以提供抽速为5,15和30m3/h的3款产品ISP-90ISP-250CISP-500CISP-1000;
高极限真空,***可达0.01mbar;
低噪声;
低振动;
允许进气压力大;
重量轻;
能耗低;
2、应用范围:
电子束焊接;
激光;
检漏系统;
加速器/同步加速器;
表面分析仪;
STM’s;
ELMI;
小型涡轮泵组;