A100型氦质谱检漏仪广泛应用于科研院所、航空航天、动力锂电池，阀门、精密仪表、机械加工、电力、半导体、光伏、真空镀膜、真空热处理等。

功能描述
支持正压检漏，负压检漏
自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底
机器**的性能支持7*24小时长时间在线测试
机器**的性能支持几秒一次的高频率测试
配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤
双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击
支持定制检漏工作台，更加便捷使用
技术参数
小可检漏率（负压模式） 5×10^-13Pa·m³/s
小可检漏率（正压模式） 1×10^-8Pa·m³/s
检漏口压强 粗检 1500Pa
中检 200Pa
精检 40Pa
响应时间 ＜1s
 

启动时间 ≤3min

前级油泵抽速 16m³/h

外形尺寸（W×D×H） 845×465×988
 

重量 80Kg

常见泄漏率

检漏方法示意图

结构图