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产品简介

设备介绍飞行时间二次离子质谱技术（TimeofFlightSecondaryIonMassSpectrometry，TOF-SIMS）是一种非常灵敏的表面分析技术，通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子因不同的质量而飞行到探测器的时间不同来测定离子质量，具有分辨率的测量技术

详细介绍

设备介绍

飞行时间二次离子质谱技术（Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry，TOF-SIMS）是一种非常灵敏的表面分析技术，通过用一次离子激发样品表面，打出极其微量的二次离子，根据二次离子因不同的质量而飞行到探测器的时间不同来测定离子质量，具有分辨率的测量技术。

仪器型号

飞行时间二次离子质谱IONTOF 5

技术参数

TOF.SIMS 5 – 100包括分析器，真空系统，软硬件等基本配置
Bi Nanoprobe第二代液态金属团簇离子源，30kV，离子光学镜筒，3级透镜
Gas Cluster离子源20kV气体团簇离子源
DSC-S用于深度剖析溅射用离子源的连接控制装置

案例展示

应用范围

应用范围：当产品表面存在微小的异物，而常规的成分测试方法无法准确对异物进行定性定量分析，可选择TOF-SIMS.