UGAPM 系列过程监测系统是为分析过程气体而设计的现代质谱仪。它们的工作范围为 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速（约5x10 -5  mbar L/sec）连续采样气体，使仪器成为在线分析的理想选择。

UGAPM 应用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空镀膜/等离子蚀刻、蒸发、溅射沉积、真空热处理、靶材老化、泄漏检测/虚拟泄漏/解吸、污染研究、小体积分析（0.1 mL范围）等。

这些分析仪也易于操作和维护。所有组件都可以从前面板或远程计算机进行控制。在 UGAPM 系统中，使用 1/16” 或 1/8” OD 的 SS 毛细管来适应中真空采样。使用这种配置，处理室和分析仪之间的死体积几乎为零。

工作原理

UGAPM 系统使用单级毛细管减压入口，用于 1 mTorr 至 20 Torr 的样气。在压力降低到大约10 -6  Torr之后，气流被送到质谱仪（残余气体分析仪——RGA），该质谱仪测量每个目标质量的浓度。

UGAPM Windows 软件为复杂的绘图和数据分析提供了一个图形用户界面。该软件还允许远程控制系统的阀门、加热器和泵。

多毛细管入口

可选的多入口阀具有两种可能的配置。一种是多通道配置，可适用于不同位置的一种特定样品压力。另一种是多量程配置，可适用于不同量程的样品压力。

使用您的 UGAPM

UGAPM 系统可以通过前面板或计算机进行控制。提供所有系统组件的手动或自动控制选择。

使用 UGAPM 软件测量和显示数据。直观的用户界面允许快速轻松地进行测量。实时捕获和显示数据，或计划在时间采集数据。

功能包括模拟和直方图扫描模式、压力与时间图、泄漏检测、气体库和在线帮助。

RGA 参数也可以通过高级 ASCII 命令等进行控制和监视。标准 RS-232和以太网接口用作您 PC 的数据链路。

最

UGAPM 分析仪提供目前可用的任何系统的价值。它们提供更高的性能、更好的功能，并且价格远低于竞争对手。