真空包

真空包可以将工作管抽成真空，使其达到管式炉内真空运行所需的状态。其组成部分包括出气口连接件、球阀、压力计，以及通过不锈钢波形管连接到气体排放口，且可手动操作的真空泵。气密炉系统要求使用真空套件，例如配备供气套件15、2、25或26。真空管的排空操作必须在低温条件下进行，以保护真空泵。随后泵机可在高温程序中保持开启。工作管中可达到的极限压力取决于泵机类型。

• 单级式旋片泵用于大约20mbar 的极限压力

• 双级式旋片泵用于大约5 x 10-2 mbar 的极限压力

• 涡轮分子泵系统由隔膜泵后接涡轮分子泵组成，用于大约5 x 10-5 mbar的极限压力（不适用于型号RSRB和RSRC，且不可组合供气套件15使用）