GC-ZEH高纯氩色谱分析仪

GC-ZEH型气相色谱仪适用于高纯气体、chao高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。该产品配置氩离子化(AID)检检测器；采用带吹扫保护气路的六通或十通阀；上述部分与氩气纯化器、无死体积取样阀等部件一起组成一套完整及解决方案。在线总烃分析仪

操作系统

该仪器通过zhongxin切割与反吹系统可完成包括高纯氮、高纯氢、高纯氧、高纯二氧化碳、高纯氩、氪气、氙气、氖气等高纯气体以及硅烷等电子工业用气体中痕量杂质的检测。

无死体积取样阀

载气专用减压阀

背压阀控制的进样技术

外型尺寸：580*550*500（mm）

去除气体：H2、O2、N2、CO、CO2、CH2、H20、CH4等

zui可大操作压力：2Mpa

残留浓度：≤20ppb

组分检测限：

组分            检测限（ppm）

CO2              ≤0.1

CH4              ≤0.1

CO              ≤0.1

O2               ≤0.1

H2               ≤0.1

N2               ≤0.1