ICP-MS分析特性
●  可快速同时检测周期表上几乎所有元素
●  的检出限（低至ppq级）
●  分析效益/成本比
●  最宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
●  谱线、干扰最小，准确度和精密度好
●  需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1?3分钟/样品）
●  检测模式灵活多样
半导体工业常用材料中超痕量污染物分析
固体：Si;GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；高纯金属电极等
液体：超纯水；HF;HNO3;HCI;H2SO4;H2O2;氨水等
气体：SiH4;TE0S;NF3;N2等
Agilent ICP-MS技术的应用领域包括：
●  环境样品分析，包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析；
●  半导体材料分析
●  玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析；
●  地质学研究；
●  生物食品及医药临床研究；
●  核材料分析
●  石油化工样品分析；
●  法医应用与研究；
●  最近，与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。