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热真空试验箱

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热真空试验箱参数范围:有效空间:承载:≥50kg空载极限真空度:热沉空载温度范围:-70~150C石英晶体微量天平石英晶体微量天平参数范围:QK20A污染沉积面:金Au名义质量敏感度:亚分子层

热真空试验箱参数范围:

有效空间:

承载:≥50kg

空载极限真空度:

热沉空载温度范围: -70~150C

气候环境试验系统

石英晶体微量天平

石英晶体微量天平参数范围:

QK20A污染沉积面:金Au

名义质量敏感度:亚分子层，探测1ng/cm/Hz的质量变化

数据采集时间周期: 1 秒一60秒

晶片温度测量:土0.1度，范围-100度~ 100度

测试分辨率:

测试量程:

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