表面电阻测试仪测量半导体的电阻率
一,测试原理:
当四根金属探针排成一bai条直线,并以一定压力压在半导体材料上时,在1,4两根探针间通过电流I,则2,3探针间产生电位差V(如图所示).
根据公式可计算出材料的电阻率:
其中,C为四探针的探针系数(cm),它的大小取决于四根探针的排列方法和针距.

表面电阻测试仪仪器操作:
(一)测试前的准备:
1,将电源插头插入仪器背面的电源插座,电源开关置于断开位置;

2,工作方式开关置于"短路"位置,电流开关处于弹出位置;

3,将手动测试架的屏蔽线插头与电气箱的输入插座连接好;

4,对测试样品进行一定的处理(如喷沙,清洁等);

5,调节室内温度及湿度使之达到测试要求.
(二)测试:
首先将电源开关置于开启位置,测量选择开关置于"短路",出现数字显示,通电预热半小时.
1,放好样品,压下探头,将测量选择开关置于"测量"位置,极性开关置于开关上方;

2,压下探头时,压力要适中,以免损坏探针;

3,由于样品表面电阻可能分布不均,测量时应对一个样品多测几个点,然后取平均值;

4,样品的实际电阻率还与其厚度有关,还需查附录中的厚度修正系数,进行修正.
1. 在测容性负载阻值时，绝缘电阻测试仪输出短路电流大小与测量数据有什么关系，为什么?
绝缘电阻测试仪输出短路电流的大小可反映出该兆欧表内部输出高压源内阻的大小。当被测试品存在电容量时，在测试过程的开始阶段，绝缘电阻测试仪内的高压源要通过其内阻向该电容充电，并逐步将电压充到绝缘电阻测试仪的输出额定高压值。显然，如果试品的电容量值很大，或高压源内阻很大，这一充电过程的耗时就会加长。其长度可由R内和C负载的乘积决定（单位为秒）。请注意，给电容充电的电流与被测试品绝缘电阻上流过的电流，在测试中是一起流入绝缘电阻测试仪内的。绝缘电阻测试仪测得的电流不仅有绝缘电阻上的分量，也加入了电容充电电流分量，这时测得的阻值将偏小。