设备主机

外形尺寸

900mm（长）×550mm(宽)×730mm(高)

重量

30KG

整机调节

整机水平测试/调节

电源

电压

100～240VAC

功率

150W

频率

50/60HZ

空间

平台尺寸

12in

试样

12in×15mm

样品台调节

自动3D移动平台

行程160mm，精度0.1mm
360°无极旋转
旋转精度，0.01°

摄像系统

图像

5000（H）× 4000（V）
 

帧率

200fps（可升级更高帧数）

传感器

SONY 1/1.8"

光谱

黑白/彩色

ROI

自定义

显示线宽

自定义

曝光时间

自定义

电源

5 VDC USB 接口

传输

USB3 Vision

显微镜头

焦距

200mm±5mm（变焦调节）

倍率

10倍

视角调节

±10°

分辨率标度

4～14um

采集系统调节

俯视/仰视/平视

光源

类型

单波长工业LED（冷光）

波长

470nm

光场

φ50mm

光点

96粒密集式

寿命

50000Hour

注射系统

滴液方式

精密

控制方式

软件数字控制

滴液精度

0.01μl

注射器

高精密气密性注射器

接液方式

精密电机控制

接液高度

智能判定

容量

100μl/500μl/1000μl(标配500μl)

针头

0.51mm全不锈钢超疏水针头(标配)

速度

1μL/min ～2000μL/min

软件

接触角范围

0～180°

分辨率

 0.01°

全自动测量

全自动一键测量功能
（可编程测试点位，多点自动测量）

数据量

一键分析12in晶圆>100个数值

形态谱图

2D形态数据谱图

接触角测量方式

全自动、半自动、手动

分析方式

悬滴法、停滴法（2/3态）、气泡捕获法、座滴法、座针法、插板法

分析方法

静态分析、自动增液缩液动态分析、润湿动态分析、实时分析、双边分析、前进后退角分析

测试方法

圆法、椭圆/斜椭圆法、微分圆/微分椭圆法、Young-lapalace、宽高法、切线法、区间法

表/界面张力测试

测试范围

 0～3000mN/m

分辨率

 0.01 mN/m

张力测量方式

全自动

分析方式

气泡捕获法、悬滴法、实时谱图

表面自由能

测试方法

Zisman、OWRK、WU、WU 2、Fowkes、Antonow、Berthelot、EOS、粘附功、浸湿功、铺展系数

数据处理

输出方式

自动生成，可导出/打印EXCEL、Word、谱图等多种报告格式