残余气体分析仪

残余气体分析仪

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2022-12-31 15:29:09
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产品简介

ProtaRRGA是基于四级杆质谱技术的残余气体分析仪，质量范围0-100amu,0-200amu,0-300amu

详细介绍

ProtaR RGA是基于四级杆质谱技术的残余气体分析仪，质量范围0-100amu,0-200amu,0-300amu。是泄漏测试、半导体、涂层和工艺应用中测试和残余气体分析的有用分析工具，能够以低检测限和快速响应检测和测量几乎所有气体。

优势：

  1. 毫秒级快速响应
  2. 低维护成本，配备耐腐蚀性进气口
  3. 多组分定量分析

 

应用领域：

  1. 真空系统
  2. 半导体
  3. 冶金行业
  4. 真空过程检测
  5. 与现有真空系统集成
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