CKD高真空用气动阀AVB综合供气阀

CKD高真空用气动阀AVB综合供气阀

工艺气体调节器PGM，高温/高耐用燃气阀AGD，真空压力控制阀IAVB，高真空用气动阀AVB，高真空用手动阀MVB，综合供气阀IAGD5，IAGD4，

产品介绍

工艺气体调节器PGM

CKD 的工艺气体调节器拥有密封性能、迟滞性和可重复性。

通过高精度的供应气体压力/流量调节实现稳定的工艺。

[高密封性能]

有助于工艺稳定性

阀座的优化设计和超精密加工

最大限度地减少阀门关闭操作时向二次侧的泄漏（流出）

[高微流量控制性]

实现稳定、顺畅的操作。

阀座形状的优化设计。

即使在微流量下也能稳定控制。

[减少滞后]

可靠地满足目标压力

采用优质材料

超精密加工

高温/高耐用燃气阀AGD

这是一种满足小型化发展所要求的高耐久性的工艺气体阀。我们根据客户需求提供三种类型。

产品特点

【高耐用性、高响应性、性能稳定】耐用性高达1亿次操作。确保Cv值和响应的长期稳定性。 [AGD-HD系列] 耐用性：保证1000万次（实际值：3000万次）兼容集成供气系统（1.5英寸、1.125英寸）单阀兼容 [AGD-HDF系列] 耐久性：保证1000万次（实际值：3000万次）高温支持：~200℃ 兼容集成供气系统（1.5英寸、1.125英寸）单阀兼容配备稳定响应执行器 [AGD21R-A系列] 耐久性：保证3000万次（实际值：1亿次）流体温度：150-200℃ 兼容集成供气系统（1.5英寸）配备稳定响应执行器高Cv值：0.4或更多的

真空压力控制阀IAVB

它保持了传统高真空阀的可靠性，同时实现了压力控制，从而实现了多种工艺。

高真空用气动阀AVB

采用CKD的模压波纹管的特殊结构可实现长寿命和高耐用性。

具有高可靠性和易用性的高真空阀。

高真空用手动阀MVB

带有旋转手柄的高真空手动阀。有铝制主体型和不锈钢主体型可供选择。

综合供气阀IAGD5

一种节省空间并提高可维护性的工艺气体供应系统。我们根据客户的要求流程处理从设计到生产的一切。1.125 英寸，兼容 W 密封。