CKD气动阀/回吸阀一体型AMDS

CKD气动阀/回吸阀一体型AMDS

回吸阀AMS，气动阀/回吸阀一体型AMDS，先导式调节器PMP，手动调节器PYM，PMM，液位传感器KML，电动流量调节阀MNV，手动流量调节阀FMD00，LYX

产品介绍

回吸阀AMS

结构紧凑，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圆化学排放不良等问题。

可根据流体粘度进行优化的定制设计。

产品特点

[防止液体滴落]

与慢速型速度控制器组合可调节至最佳液体排放。

【工作原理】

当流体流动时，空气压力作用于操作口，使隔膜下降。

当流体停止时，来自操作口的空气被释放到大气中，弹簧的力使隔膜上升，增加吸入阀内的容积并防止流体滴落。

气动阀/回吸阀一体型AMDS

结构紧凑，排液可靠，反吸控制精度高。它可用于防止晶圆化学排放不良等问题。

可根据流体粘度进行优化的定制设计。

集成气动阀减少了管道工作并使其更加紧凑。

先导式调节器PMP

这是一种通过先导空气控制来稳定化学溶液/纯水供给部分的压力波动的调节器。与电动气动调节器结合，还可以通过远程控制改变设定压力。

手动调节器PYM·PMM

用于纯水等压力控制的手动调节器。

产品特点

[压力控制]

手动式，强调易用性。

液位传感器KML

高精度检测纯水、酸、碱、溶剂等各种流体的液位，并以电信号输出。

产品特点

[可远程控制]（KML703系列）

传感器部分和显示部分是分离的，因此操作显示部分可以安装在远离液罐的位置。

内置通讯功能（RS485）允许从主机进行操作。

【耐环境压力波动】（KML703系列）

压差法检测环境压力和水位之间的压差，因此通过将检测管和环境检测管设置在相同的压力环境中，可以进行以下检测：能够抵抗环境压力波动。

[提高耐用性]（KML502、MKML2、MXKML2）

通过改变隔膜材料，提高了耐用性。

[提高便利性] (MKML2、MXKML2)

通过采用块结构可以改变站数。

电动流量调节阀MNV

这是电动流量调节阀（针阀）。可通过远程控制改变设定流量。

手动流量调节阀FMD00

这是手动流量调节阀（针阀）。

LYX

可以调节微小流量的手动流量调节阀。