高精度真空热板WATTY常压高精度热板

高精度真空热板WATTY常压高精度热板

高精度真空热板，常压高精度热板，烘烤装置，供气装置

产品介绍

高精度真空热板

特点

面内温度分布高精度控制

关于形状、尺寸等请联系我们。

支持高达 400°C（铝板）

使用示例

洁净室一体化生产（100级、1000级）

CVD、蚀刻、灰化设备的工艺气体供应管线，排气管线的设计和制造

各种管道材料和零件焊接的丰富后台数据

焊接管道和特殊气体的焊接

我们还可以制造管道。

使用注意事项

1. 安装加热器时，请擦去被加热表面的油污、污垢等，安装时应确保粘合面不会形成气穴。

2. 加热器温度根据使用条件（工作温度等）而变化，因此，如果加热器表面温度可能超过200°C，请在使用前控制加热器表面温度。

常压高精度热板

特点

与加热器一体型相比，重量轻、功耗低

通过分体设计实现FPD G8尺寸的高精度分布

支持高达400℃

使用示例

1.抗蚀剂、彩色滤光片等的烘烤（FEOL）

2.探针台（BEOL）等检查设备

3.用于掩模玻璃加热

烘烤装置

特点

我们将根据应用提出单片式和多级式等建议。

从用于测试和研究的手动式到用于批量生产的具有自动传送机构的装置的

设计和制造

供气装置

特点

洁净室一体化生产（100级、1000级）CVD、蚀刻和灰化设备的工艺气体供应管线和排气管线的设计和制造

丰富的后台数据对应各种管道材料及零件的焊接

我们还生产焊管和特殊气体用焊管。还可以实现交货时间短和小批量生产。