高真空排气装置TPS-50ZA佐藤真空SATOVAC

高真空排气装置TPS-50ZA佐藤真空SATOVAC

高真空排气装置

本系统有涡轮分子泵和油扩散泵两种类型，还准备了油旋转和干泵作为辅助泵，是一种能够根据客户的需求进行选择的高真空排气系统。

*性:

支持高真空下的各种实验、开发、生产过程。通过气冷式不需要水管线，减轻保养负担。不挑地方的100v电源。大型机基础采用铝，实现轻量化。追求易用性的紧凑设计。

涡轮分子泵排气系统<TPS>类型

辅助泵与填充型干燥真空泵或滚动型干燥真空泵组合，可实现全干燥的排气系统。启动、停止所需时间短。出其不意的大气导入也采用强构造的涡轮分子泵。故意重复大气导入会造成故障。

油扩散泵排气系统< DPS >类型

能够以更低的成本获得高真空氛围。根据三方阀的切换功能，仅辅助泵的单独排气运转也可能。保养检查容易。

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涡轮分子泵烘烤后，泵头值。

启动时间是吸气口关闭时的值。根据仓容量时间不同。

吸气口关闭时的值。

作为辅助泵和主泵，有单独的电源插头(2个)。

配合客人的使用方便·规格，也制作各种可选零件的嵌入设置的特别定制版本。