SEMILAB寿命测量装置WT-2000MCT

SEMILAB寿命测量装置WT-2000MCT

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产品介绍

寿命测量装置 WT-2000 是一个功能强大的台式测量平台，能够执行许多不同的半导体材料表征。基本系统包括执行表征所需的所有间接功能，包括电源、计算机、操作软件和 XY 测量台。该系列通常用于创建地图，在地图上使用可编程光栅扫描晶圆。WT-2000 还允许在特定的可编程位置进行测量。除了硅，SEMILAB 还经营使用短波长激发激光的宽禁带半导体（SiC、GaN）的寿命测量设备。

WT-2000MCT 专为不同样品温度下的 µ-PCD 寿命测量而设计。

除了硅，SEMILAB 还经营使用短波长激发激光的宽禁带半导体（SiC、GaN）的寿命测量设备。

FAaST 310/210 SPV 装置在适合研发和小批量制造环境的设计中提供快速、全晶圆污染成像。

FAaST 330/230 DSPV 装置可对重金属污染进行非接触式高速在线监测。可以进行晶圆处理。

FAaST 350 DSPV 装置是重金属污染非接触式高速监测旗舰平台。能够检测低于 10 8 个原子/ cm -3的铁并从双 FOUP 装载端口装载站自动处理晶圆，它能够支持苛刻的大批量生产环境。

WT-2000 是中型制造工厂和实验室的推荐装置。