非接触式检测SEMILAB晶体缺陷检测装置LST

非接触式检测SEMILAB晶体缺陷检测装置LST

晶体缺陷检测装置LST系列LST-2100, LST-2500,非接触式晶体缺陷检测装置SIRM系列SIRM-2100,SIRM-2500,SIRM-3000,压力测量仪PSI系列PSI-2100,PSI-2500,PSI-3000,错位缺陷可视化装置EnVision,DL S低温恒温器

产品介绍

LST 系列是一款功能强大的微晶缺陷分析仪。BMD 散射入射光，该光由样品切割边缘附近的 CCD 相机记录。

SIRM 体微缺陷分析仪是一种非接触式、无损光学仪器，用于完整的体微缺陷 (BMD) 表征（体和半导体晶圆表面附近的氧和金属沉淀物、空隙、堆垛层错、滑移线、位错、等）是可能的。

PSI 产品系列专为检查和可视化晶体缺陷而开发，例如与具有大产能的自动化制造工厂的 Si 晶圆/小片中的机械应力（应力）相关的孪晶缺陷。。用于半导体晶圆的应力测量。

晶体缺陷可视化装置 EnVision 是一种非破坏性、非接触式半导体检测装置，可以在 15 nm 级别可视化位错缺陷。错位缺陷的可视化使得过去依赖于工艺工程师的经验和直觉的工艺工作的定量优化成为可能。对于验证在表面附近无法确认的深度方向的应力诱发位错缺陷非常有效。

DLS 低温恒温器：Semilab 提供以下用于 DLS 仪器的低温恒温器。

浴式低温恒温器：80K 至 450K – 加热由计算机控制 – 控制器内置于 DLS-1000 中。对流式（在 LN2 气氛中）。

自动 LN2 低温恒温器 80K-550K（可选高达 800K）。样品在真空室中——需要计算机控制加热和冷却（通过沸腾的液氮）。需要控制器——内置 DOS PC 和低温恒温器控制器。

自动氦气（闭路循环）真空低温恒温器：30K 至 325K – 由 DLS 控制软件控制。

真空低温恒温器需要真空泵（可选）。