KOBELCO神户制钢所DLC涂层设备UBMS202 

KOBELCO神户制钢所DLC涂层设备UBMS202 

“UBMS（Unbalanced Magnetron Sputtering System）系列”主要作为“DLC（Diamond-Like Carbon）涂层”的涂层设备，深受零部件、工具和模具等各个行业客户的喜爱。

“DLC涂层”的性质很容易受涂层方法、处理温度的影响，而我们凭借多年积累的经验和知识，成功解决了这个问题。

1.搭载自主研发的溅射蒸发源“UBMS系列”是一种搭载有神户制钢所自主研发蒸发源的溅射设备。通过优化磁场配置，在涂层时强化等离子体，同时改善对于膜质量控制非常重要的“离子辅助效果”。可以制造出具有良好表面粗糙度的膜。

2.也可利用PE-CVD方法进行DLC涂层还可实现这样的处理：先通过溅射形成可提高附着力的涂层，然后以PE-CVD方法涂层DLC膜。

PE-CVD方法：将气体作为涂层原料的涂层技术。主要使用甲烷或乙炔涂层DLC膜。与UBMS方法相比，PE-CVD方法能够以5倍以上的速度涂层，并且可在维持润滑特性的同时提高“生产效率”，而这正是UBMS方法的问题所在。

UBMS202,UBMS504,UBMS707,