泰克2600B 系列 SourceMeter SMU 仪器

Keithley 2600B 系列系统 SMU 仪器是业界标准电流-电压源和测量解决方案，适用于高度自动化生产测试应用。 双通道和单通道型号都紧密集成一个精密电源、真正电流源、数字万用表和具有脉冲生成功能的电子负载。 另外，TSP® 技术可运行完整测试程序，适用于自动化系统应用，TSP-链路®技术允许菊花式链接最多 64 条通道，适用于大容量并行测试。

2600B系列系统数字源表源测量单元（SMU）仪表是业界的电流/电压源 与测量解决方案，它是利用吉时利第三代源测量单元（SMU）技术建造的。2600B 系列产品包括单通道和双通道型号，集成了高精密电源、真正电流源、6位半数字多用表（DMM）、任意波形发生器、脉冲发生器以及电子负载等功能——这些功能都在一个高度集成的仪器机箱内。这是一个功能强大的解决方案，大大提高了从台式 I/V特性分析道高度自动化生产测试等各种应用中的测试效率。对于台式应用，2600B系列数字源表内置基于Java的测试软件，支持即插即用I/V测试，可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。对于自动化系统应用，2600B系列数字源表的测试脚本处理器(TSP)，可以运行仪器内存储的完整测试程序，实现业界的吞吐量。在更大型的多通道应用中，吉时利的TSP-Link技术与TSP协同工作，实现了高度、SMU-per-pin并行测试。由于2600B系列数字源表源测量单元（SMU）仪表具有不需要主机的、隔离的通道，因此，可以根据测试应用需求的进展，很容易进行重新配置和重新部署。

基于Java的即插即用I/V测试软件

2600B系列数字源表是内置基于Java测试软件的源测量单元（SMU）仪表， 支持真正的即插即用I/V特性分析，可以通过世界各地任何计算机浏览器运行。这个功能提高了研发、教育和QA/FA等各种应用的测试效率。只需通过附送的 LAN电缆，将2600B数字源表连接至互联网，打开浏览器，输入2600B的IP低至，即可开始测试。测试结果可以下载之电子数据表（如Excel），供进一步的分析和格式化，或者导入其他文档或演示文稿。

采用TSP技术，提供的吞吐量，适合自动测试

对于需要自动化和吞吐量级别的测试应用来说，2600B数字源表的TSP技术提供了业界的性能。TSP技术远远超越传统的测试命令序列……它嵌入，然后，在源测量单元（SMU）仪器内部执行完整的测试程序。这实际上避免了所 有耗时的总线-PC控制器之间的通信，因此，大幅缩短整个测试时间。

TSP技术将执行来自2600B系列数字源表内非易失性存储的完整测试程序。

通过TSP-Link技术，实现SMU-Per-Pin并行测试

TSP-Link是通道扩展总线，支持多 个2600B系列数字源表互连，成为一个单 一、严格同步的多通道系统。2600B的 TSP-Link技术与其TSP技术协同工作，支 持高速、SMU-per-pin并行测试。与大型 自动测试设备系统等其他高速解决方案 不同的是，2600B在无需主机成本或负担 情况下，实现了并行测试性能。基于TSP -Link技术的系统，还支持出众的灵活性， 可以根据测试需求的变化，迅速而容易 地对系统进行重新配置。

在TSP-Link系统中，所有通道的同步都控制在 500ns以内。

2400型软件仿真

2600B系列数字源表，与为吉时利2400 型数字源表源测量单元（SMU）仪表开发的测试代码兼容。这使得基于2400型数字源 表的测试系统更容易地升级至2600B系列， 并使测试速度提高高达80%。此外，它还提供了从SCPI编程转到吉时利TSP技术的过渡路径，实施后，可以进一步缩短测试时间。
为了全面支持遗留的测试系统，在这个模式下，还支持2400型源存储清单测试序列。

第三代SMU设计，确保实现更快的测试时间

在早期2600系列仪器成熟的架构基础 上，2600B系列的源测量单元（SMU） 仪表设计从几个方面提高了测试速度。例 如，早期的设计采用的是并联电流量程调 节结构，而2600 B系列采用了已申请 的串联量程调节结构，这种结构具有更快 更平滑的量程变换过程和稳定速度更快的 输出。

SMU-Per-Pin并行测试采用TSP与TSP-Link技术，提高测试吞吐量，并降低测试成本。

2600B系列数字源表源测量单元 （SMU）仪表设计支持对各种负载使用 两种操作模式。在普通模式下，源测 量单元（SMU）仪表为吞吐量提供 高带宽性能。在高电容模式下，源测 量单元（SMU）仪表使用较慢的带宽， 为较高电容负载提供鲁棒的性能。

简化半导体元件测试、验证与分析

可选配的ACS Basic版本软件实现了客户效率的，使客户可以在开发、质量认证或故障分析中，对封装器件进行特性分析。主要特性包括：

• 内容丰富、易于访问的测试库

• 脚本编辑器，实现现有测试的快速定制

• 数据工具，便于迅速比较测试结果

• 公式工具，便于分析俘获的曲线，并提供多种数据函数。

欲了解有关ACS Basic版本软件的更多信息，参见ACS Basic版本数据表。

强大的软件工具

除了基于Java的嵌入式即插即用软 件以及可选配的ACS Basic版本软件，免 费Test Script Builder软件工具，可以 帮助用户创建、修改、调试和存储TSP测 试脚本。图1给出2600B系列数字源表软 件工具的主要特性。

2600B系列产品3个型号的双通道 台式数字源表，提供业界的价值 和性能

如果想调试设计问题，首先必须知道存在问题。每个设计工程师都要用大量的时间查找电路中的问题，如果没有合适的调试工具，这项任务耗时长、非常麻烦。

为了满足那些不需要系统级自 动化能力的应用需求，吉时利对2600B系 列数字源表进行了扩展，推出3中的 高性价比台式型号产品——2604B、2614B和 2634B。这些型号产品性能分别与2602B、 2612B和2636B相似，但它们不包括TSP Link、接触检查以及数字I/O能力。

完整的自动化系统解决方案

吉时利S500综合测试系统是基于仪 器的、可高度配置的系统，适合器件、 晶圆或晶圆盒的半导体特性分析。S500 综合测试系统基于已被证明的2600系列 系统数字源表源测量单元（SMU），提供 创新的测量特性与系统灵活性，可以根据需求进行升级。其的测量能力， 再加上强大而灵活的自动特性分析套 件(ACS)软件，为客户提供全面的应用 范围和特性，这是市场上竞争产品所不具备的。

表1 2600B软件工具

当您需要对封装器件数据进行快速采集时，通过 ACS Basic版本软件基于相当的用户界面，很容易 发现和运行期望的测试，就像常见的 FET曲线跟 踪测试一样。

ACS Basic版本软件具有灵活的软件体系结构，允许为 系统配置多种控制器与测试夹具，并可以根据应用需要， 配置所需的数字源表数量。

典型应用

各种器件的I-V功能测试和特征分析，包括：

• 分立和无源元件
  – 两抽头器件——传感器、磁盘驱动器头、金属 氧化物可变电阻（MOV）、二极管、齐纳二极 管、电容、热敏电阻
  – 三抽头器件——小信号双极结型晶体管（BJT）场效应晶体管（FET），等等

• 简单IC器件——光学器件、驱动器、开关、传感 器、转换器、稳压器

• 集成器件——小规模集成（SSI）和大规模集成（LSI） – 模拟IC
  – 射频集成电路（RFIC）
  – 专用集成电路（ASIC）
  – 片上系统（SOC）器件

• 光电器件，例如发光二极管（LED）、激光二极管高亮度LED（HBLED）、垂直腔面发射激光器 （VCSEL）、显示器

• 圆片级可靠性
  – NBTI、TDDB、HCI、电迁移

• 太阳能电池

• 电池

• 更多…

2604B/2614B型仪表的背板
(单通道2601B, 2611B, 2635B没有给出)。

2636B型仪表的背板

在和第三象限，2600B系列仪器用作信号源，向负载提供 电源。在第二和第四象限，2600B系列仪器用作信号宿，内部 消耗功率。

2601B、2602B和2604B的I-V测试功能

2611B、2612B和2614B的I-V 测试功能

2634B、2635B和2636B的I-V 测试功能

技术指标适用的条件

本文介绍了2601B、2602B和2604B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些技术 指标是测试2601B、2602B和2604B依据的标准。在出厂时，2601B、2602B和2604B 符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内，适用于23°C，仅用作有 效信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。

这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A（2601B、2602B和2604B）或数字源表CHANNEL B（2602B和2604B）终端。
1. 23°C ±5°C，相对湿度<>
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

电压源技术指标

电压编程精度1

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2：±(0.15 × 精度指标)/°C。
仅适用于普通模式，不适用于高电容模式。
输出功率和源/宿极限3：每通道40.4W。±40.4V@ ±1.0A，±6.06V@ ±3.0A，四项限源或宿操作。
电压调节：线：量程的 0.01%。负载：±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声：10Hz～20MHz：<20mv><3mv>
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限（柔度）。最小值10nA。精度与电流源 相同。
过冲：典型值<±(0.1% +="" 10mv)。步进值="量程的10%～90%，电阻负载，电流">
保护偏移电压：典型值 < 4mv。电流=""><>

电流源技术指标

电流编程精度

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)7：±(0.15 × 精度指标)/°C。
输出功率和源/宿极限8：每通道40.4W。±1.01A @ ±40.0V，±3.03A @ ±6.0V，四项限源或宿操作。
电流调节：线：量程的0.01%。负载：±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度9: 单值设置双极电压极限（柔度）。最小值10 mV。精度与电压源 相同。
过冲：典型值<±0.1%（步进值=量程的10%～90%，电阻负载；其他测试条件，参见>

其它电源技术指标

瞬态响应时间：当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间<>
电压源输出稳定时间：在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的 时间。
100mV，1V量程：典型值<>
6V量程：典型值<>
40V量程10：典型值<>
电流源输出稳定时间：在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的 时间。下列值适用于Iout × Rload = 1V，除非另行说明。
3A量程：典型值<>load >2Ω） 1A–10mA量程：典型值<>load >6Ω）
1mA量程：典型值<>
100μA量程：典型值<>
10μA量程：典型值<>
1μA量程：典型值<>
100nA量程：典型值<>
直流浮动电压：输出电压可以从机架地电平上浮到±250VDC。
远端检测工作范围11:
HI和SENSE HI之间的电压=3V
LO和SENSE LO之间的电压=3V

电压输出净空：
40V量程：输出电压=42V – 电源引线上的总压降 （每条电源引线1Ω）
6V量程：输出电压=8V – 电源引线上的总压降 （每条电源引线1Ω）
过温保护：内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲：<300mv +="" 较大量程的0.1%（典型值）。过冲输入一个="">
电流源量程变化过冲：<较大量程的5% +="" 300mv/rload="" （典型值，源稳定时间="" 设置为settle_smooth_100na）。其他测试条件，参见“电流源输出稳定时间”="">

注

1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3. 在30°C环境下，无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可 参考2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下 降信息。
4. 对于电源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相应的电流极限精度指标上增加极程的 0.06%。技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5. 在30°C环境下，无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可 参考2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下 降信息。
6. 10A量程仅适用于脉冲模式。
7. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
8. 在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可 参考2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下 降信息。
9. 对于电源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和 极限设定值的±0.02%。对于100mV量程，要额外增加60mV的不确定值。
10. 当在1A量程下测量时，要增加150μs。
11. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。

脉冲技术指标

最小可编程脉宽14,15：100μs。注：对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的 最小脉宽可以大于100μs。
脉宽编 程分辨 率：1μs。
脉宽编 程精度 15：±5μs。
脉宽抖 动：2μs（典型值）。
象限图：

注

12. 从脉冲开始到off-time开始的时间；如下图所示。

13.在电源宿模式下（第II和IV象限）且环境温度高于30°C时，发热受限。欲了解更多信息， 可参见参考手册中的功率方程。
14.最小稳定脉宽的典型性能：

通常采用远端操作、4线检测和、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍, 请参见2600B参考手册。

15.从脉冲开始到off-time开始的时间；如下图所示。

仪表技术指标

电压测量精度16,17

温度系数（0°–18°C & 28°–50°C）19：±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式，不适用于高电容模式。

电流测量精度 17

电流测量稳定时间（在V 之后测量稳定的时间）23: 在固定量程上处理电源设 step 命令后达到最终值0.1%所需的时间。Vout=1V，除非另行说明。电流量程：1mA。 out 时间：<>
温度系数（0°–18°C & 28°–50°C）24: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用普通模式，不适用于高电容模式。

接触检查25（不适合2604B）

其它仪表技术指标

负载阻抗：
普通模式：10nF（典型值）。
高电容模式：50μF（典型值）
共模电压：250VDC。
共模隔离度：>1GΩ，<>
过量程：101%的电源量程，102%的测量量程
检测引线电阻：额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗：>10GΩ

注

16. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
17 .对于NPLC设置<1，要通过增加误差项降低精度指标。根据下表适当>

18. 适用于单通道显示模式。
19. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
20. 适用于单通道显示模式。
21. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为100mV或1V量程。
22. 10A量程仅适用于脉冲模式。
23. 柔度等于100mA。
24. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
25. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO的接触电阻。

高电容模式26,27,28

电压源输出稳定时间：在固定量程上处理完源极命令后，达到最终值的0.1% 所需的时间。电流极限=1A。

• 电压源量程

• Cload =4.7μF的稳定时间

• 100 mV

• 200 μs （典型值）

• 1 V

• 200 μs （典型值）

• 6 V

• 200 μs （典型值）

• 40 V

• 7 ms （典型值）

电流测量稳定时间：在电压源稳定在固定量程上后，达到最终值的0.1%所需 的时间。下列值适用于Vout=1V，除非另行说明。

• 电压源量程

• 稳定时间

• 3 A – 1 A

• <120 μs（典型值）="">load > 2Ω)

• 100 mA – 10 mA

• <100 μs="">

• 1 mA

• < 3="" ms="">

• 100 μA

• < 3="" ms="">

• 10 μA

• < 230="" ms="">

• 1 μA

• < 230="" ms="">

使用HIGH-C脚本的电容漏流性能29: 负载=5μF||10MΩ
测试：5V步进与测量。200ms（典型值）@50nA。

模式改变延迟：

100μA电流量程以上：
进入高电容模式的延迟：10ms
离开高电容模式的延迟：10ms
1μA和10μA电流量程：
进入高电容模式的延迟：230ms
离开高电容模式的延迟：10ms
电压表输入阻抗：100GΩ并联3300pF。
噪声，10Hz-20MHz（6V量程）：典型值<30mv>
电压源量程改变过冲：典型值<400mv +="">

注

26. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
27. 100nA量程不适用于高电容模式。
28. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
29. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。

公共指标

IEEE-488：兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制(背面): USB 2.0器件，TMC488协议。
RS-232：波特率从300bps到115200bps。
以太网：RJ-45接头，LXI Class C，10/100BT，无自动翻转功能。
扩展接口：利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和通信。 (不适用2604B)
线缆类型：5e类线或更的LAN交叉线。
长度：任意两台支持TSP功能的仪器之间最长3米。
LXI兼容性：LXI Class C 1.2
LXI时序：总输出触发响应时间：最小值为245μs ，典型值为280μs ，（不 值）。接收LAN[0-7]事件延迟：未知。产生LAN[0-7]事件延迟： 未知。
数字I/O接口(不适用2604B)

接头：25针D型母接头
输入/输出引脚：14个开漏极I/O脚
输入电压：5.25V
最小输入电压：-0.25V
逻辑低输入电压：0.7V，+850μA
最小逻辑高输入电压：2.1V，+570μA。
源电流（流出数字I/O脚）：+960μA。
宿电流@逻辑低电压（0.7V）：-5.0mA。
宿电流（流入数字I/O脚）：-11mA(不适用2604B)。
5V电源引脚：上限为600mA，固态熔丝保护。
安全互锁引脚：有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA（值6V） 到该引脚上，以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳 地。当INTERLOCK信号<0.4v时（最小值-0.4v），200v操作将会被>

USB文件系统（前部）：USB 2.0主控制器：海量存储类设备。
电源：100V～250VAC，50～60Hz（自动检测），240 VA。
冷却：强制风冷。侧面进风，背板排风。在以机架式安装时， 一侧不可阻塞。
EMC：符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性：符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸：89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 （3½ in × 8⅜ in × 17 ½ in ）。
台面配置（带手柄和脚）：104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 （4⅛ in× 9⅜ in × 17 ½ in ）。
重量：2601B：4.75kg （10.4 lbs），2602B，2604B：5.50kg （12.0 lbs）。
工作环境：于室内使用。
海拔：高于海平面2000米。
工作：0°–50°C，70% R.H.35°C。降低3% R.H./°C，35°–50°C。
存储：–25°C 到 65°C。

技术指标适用的条件

本文介绍了2611B，2612B和2614B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些 技术指标是测试2611B，2612B和2614B依据的标准。在出厂时，2611B，2612B和 2614B符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内，适用于23°C，仅用 作有效信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A（2611B，2612B和 2614B）或数字源表CHANNEL B（2612B和2614B）终端：
1. 23°C ±5°C，相对湿度<>
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

电压源技术指标

电压编程精度1

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2：±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于 普通模式，不适用于高电容模式。
输出功率和源/宿极限3：每通道30.3W。±20.2V@ ±1.5A，±202V@± 100 mA，四项限源或宿操作。
电压调节：线：量程的 0.01%。负载：±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声 10Hz～20MHz：典型值<><3mv rms（有效值），="">
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限（柔度）。最小值10nA。精度与电流源 相同。
过冲：典型值<±(0.1% +="" 10mv)。步进值="量程的10%～90%，电阻负载，电流" 极限="">
保护偏移电压：典型值 < 4mv。（电流=""><>

电流源技术指标

电流编程精度5

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)8：±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于 普通模式，不适用于高电容模式。
输出功率和源/宿极限9：每通道30.3W。±1.515A @ ±20V , ±101mA @ ±200V，四项限源或宿操作。
电流调节：线：量程的0.01%。负载：±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度10: 单值设置双极电压极限（柔度）。最小值20 mV。精度与电压源 相同。
过冲：典型值<±0.1%（步进值=量程的10%～90%，电阻负载；其他测试条件，参见>

其它电源技术指标

瞬态响应时间：当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间<70μs。>

• 量程

• 稳定时间

• 200 mV

• <50 μs="">

• 2 V

• <50 μs="">

• 20 V

• <110 μs="">

• 200 V

• <700 μs="">

电流源输出稳定时间：在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。 下列值适用于Iout × Rload = 2V，除非另行说明。

• 电流量程

• 稳定时间

• 1.5 A – 1 A

• <120 μs="" (典型值)="">load > 6)

• 100 mA – 10 mA

• <80 μs="">

• 1 mA

• <100 μs="">

• 100 μA

• <150 μs="">

• 10 μA

• <500 μs="">

• 1 μA

• <2 ms="">

• 100 μA

• <20 ms="">

直流浮动电压：输出电压可以从机架地电平上浮到±250VDC。
远端检测工作范围11：
HI和SENSE HI之间的电压=3V
LO和SENSE LO之间的电压=3V

电压输出净空：
200V量程：输出电压= 202.3V – 电源引线上的总压降（每条电源引线 1Ω）
20V量程：输出电压= 23.3V – 电源引线上的总压降（每条电源引线 1Ω）
超温保护：内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲：<300mv +="" 较大量程的0.1%（典型值）。过冲输入一个200kω="">
电流源量程变化过冲：<较大量程的5% +="" 300mv/rload（典型值，源稳定时间设置为="">

注

1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3.在30°C环境下，无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可参考 2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下降信息。
4.对于电源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相应的电流极限精度指标上增加极程的0.06%。 技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5.精度指标不包括集电极漏流。在18°–28°C之间工作时，每°C精度降低Vout/2E11；在<18°c或>28°C工作时，每°C精度降低Vout/2E11 + (0.15・Vout/2E11)。
6.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可参考 2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下降信息。
7.10A量程仅适用于脉冲模式。
8. 高电容模式精度仅适用于23°C ±5°C。
9.在30°C环境下,无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可参考 2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下降信息。
10.对于电源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和极限 设定值的±0.02%。对于200mV量程，要额外增加120mV的不确定值。
11.对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。

脉冲技术指标

最小可编程脉宽15,16：100μs。注：对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的最小 脉宽可以大于100μs。
脉宽编 程分辨 率：1μs。
脉宽编 程精度 15：±5μs。
脉宽抖动：2μs（典型值）。

13.在电源宿模式下（第II和IV象限）且环境温度高于30°C时，发热受限。欲了解更多信息， 可参见参考手册中的功率方程。
14. 电压源工作在1.5 A电流极限下。
15. 最小稳定脉宽的典型性能：

通常采用远端操作、4线检测和、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍， 请参见2600B参考手册。

仪表技术指标

电压测量精度 17, 18

温度系数（0°–18°C & 28°–50°C）20：±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式，不适用于高电容模式。

电流测量精度 18, 21

电流测量稳定时间（在Vstep之后测量稳定的时间）25: 在固定量程上处理电源设置 命令后达到最终值0.1%所需的时间。Vout= 2V，除非另行说明。电流量程：1mA。
稳定时间：<>
温度系数（0°–18°C & 28°–50°C）26: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于 普通模式，不适用于高电容模式。

接触检查27 （不适合2614B）

其它仪表技术指标

负载阻抗：
普通模式：10nF（典型值）。高电容模式：50μF（典型值）
共模电压：250VDC。
共模隔离度：>1GΩ，<>
过量程：101%的电源量程，102%的测量量程
检测引线电阻：额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗：>10GΩ

注

17. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
18. 对于NPLC设置<>

19. 适用于单通道显示模式。
20. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
21.精度指标不包括集电极漏流。在18°–28°C之间工作时，每°C精度降低Vout/2E11；在<18°c>28°C工作时，每°C精度降低Vout/2E11 + (0.15·Vout/2E11)。
22. 适用于单通道显示模式。
23. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为200mV或2V量程。
24. 10A量程仅适用于脉冲模式。
25. 柔度等于100mA。
26. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
27. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO接触电阻

高电容模式 28, 29, 30

电压源输出稳定时间：在固定量程上处理完源极命令后，达到最终值的0.1%所需的 时间。电流极限=1A。

• 电压源量

• Cload =4.7μF的稳定时间

• 200 mV

• 600 μs （典型值）

• 2 V

• 600 μs （典型值）

• 20 V

• 1.5 ms （典型值）

• 200 V

• 200 ms （典型值）

电流测量稳定时间：在电压源稳定在固定量程上后，达到最终值的0.1%所需的时间。 下列值适用于Vout=2V，除非另行说明。

• 电流量程

• 稳定时间

• 1.5 A – 1 A

• <120 μs="" (典型值)="">load > 6Ω)

• 100 mA – 10 mA

• <100 μs="">

• 1 mA

• < 3="" ms="">

• 100 μA

• < 3="" ms="">

• 10 μA

• < 230="" ms="">

• 1 μA

• < 230="" ms="">

使用HIGH-C脚本的电容漏流性能32: 负载=5μF||10MΩ
测试：5V步进与测量。200ms（典型值）@50nA。
模式改变延迟：
100μA电流量程以上：
进入高电容模式的延迟：10ms
离开高电容模式的延迟：10ms
1μA和10μA电流量程：
进入高电容模式的延迟：230ms
离开高电容模式的延迟：10ms
电压表输入阻抗：30GΩ并联3300pF。
噪声，10Hz-20MHz（20V量程）：典型值<30mv>
电压源量程改变过冲（用于20V量程以下）：典型值<400mv +="">
过冲进入200kΩ负载，20MHz带宽。

注

28. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
29. 100nA以下量程不适用于高电容模式。
30. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
31. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。

公共指标

IEEE-488：兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制 (背面): USB 2.0器件，TMC488协议。
RS-232：波特率从300bps到115200bps。数据位数、奇偶类型和流程控制 （RTS/CTS硬件或没有）可编程。
以太网：RJ-45接头，LXI Class C，10/100BT，无自动翻转功能。
扩展接口：利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和 通信。(不适用2634B)
线缆类型：5e类线或更的LAN交叉线。
长度：任意两台支持TSP功能的仪器之间最长3米。
LXI兼容性：LXI Class C 1.4
LXI时序：总输出触发响应时间：最小值为245μs ，典型值为280μs ， （不值）。接收LAN[0-7]事件延迟：未知。产生LAN[0-7]
事件延迟：未知。
数字I/O接口(不适用2634B)

接头：25针D型母接头
输入/输出引脚：14个开漏极I/O脚
输入电压：5.25V
最小输入电压：-0.25V
逻辑低输入电压：0.7V，+850μA
最小逻辑高输入电压：2.1V，+570μA。
源电流（流出数字I/O脚）：+960μA。
宿电流@逻辑低电压（0.7V）：-5.0mA。
宿电流（流入数字I/O脚）：-11mA。
5V电源引脚：上限为600mA，固态熔丝保护。
安全互锁引脚：有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA（值6V）到该引脚上，以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳地。当INTERLOCK信号<>

USB文件系统（前部）：USB 2.0主控制器：海量存储类设备。
电源：100V～250VAC，50～60Hz（自动检测），240 VA。
冷却：强制风冷。侧面进风，背板排风。在以机架式安装时，一侧不可阻塞。
EMC：符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性：符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸：89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 （3½ in × 8⅜ in × 17½ in ）。
台面配置（带手柄和脚）：104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 （4⅛ in× 9⅜ in × 17½ in ）。
重量：2635B：4.75kg （10.4 lbs），2634B，2635B：5.50kg （12.0 lbs）。
工作环境：于室内使用。海拔：高于海平面2000米。
工作：0°- 50°C，70% R.H.35°C。降低3% R.H./°C，35°– 50°C。
存储：–25°C 到 65°C。

技术指标适用的条件

本文介绍了2634B，2635B和2636B系统数字源表的技术指标和补充说明。这些 技术指标是测试2634B，2635B和2636B依据的标准。在出厂时，2634B，2635B和2636B 符合这些技术指标。补充说明和典型值不在质保范围内，适用于23°C，仅用作有效 信息。

精确技术指标适用于普通模式和高电容模式。这些源和测量精度在下列条件下适用于数字源表CHANNEL A（2634B，2635B和 2636B）或数字源表CHANNEL B（2635B和2636B）终端：
1. 23°C ±5°C，相对湿度<>
2. 经过2小时的预热
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 启用A/D自动调零
5. 远端检测操作或适当的归零局部操作
6. 校准周期=1年

源技术指标

电压源技术指标

电压编程精度1>

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)2：±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于普通模式，不适用于高电容模式。
输出功率和源/宿极限3：每通道30.3W。±20.2V@ ±1.5A，±202V@±100 mA，四项限源或宿操作。
电压调节：线：量程的 0.01%。负载：±(量程的0.01% + 100μV)。
噪声 10Hz～20MHz：典型值<><3mv>
电流极限/柔度4: 单值设置双极电流极限（柔度）。最小值100pA。精度与电流源相同。
过冲：典型值<±(0.1% +="" 10mv)。步进值="">
保护偏移电压：典型值 < 4mv。（电流=""><>

电流源技术指标

电流编程精度

温度系数 (0°–18°C & 28°–50°C)7：±(0.15 × 精度指标)/°C。仅适用于普通模式，不适用于高电容模式。
输出功率和源/宿极限8：每通道30.3W。±1.515A @ ±20V , ±101mA @±200V，四项限源或宿操作。
电流调节：线：量程的0.01%。负载：±(量程的0.01% + 100 pA)。
电压极限/柔度9: 单值设置双极电压极限（柔度）。最小值20 mV。精度与电压源相同。
过冲：典型值<±0.1%（步进值=量程的10%～90%，电阻负载；电流极限>

其它电源技术指标

瞬态响应时间：当负载出现10%到90%的阶跃变化时输出恢复到0.1%的时间<>
电压源输出稳定时间：在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。

• 量程

• 稳定时间

• 200 m V

• <50 μs="">

• 2 V

• <50 μs="">

• 20 V

• <110 μs="">

• 200 V

• <700 μs="">

电流源输出稳定时间：在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。下列值适用于Iout × Rload = 2V，除非另行说明。

• 电压源量程

• 稳定时间

• 1.5 A – 1 A

• <120 μs（典型值）="">load > 2Ω)

• 100 mA – 10 mA

• <80 μs="">

• 1 mA

• <100 μs="">

• 100 μA

• <150 μs="">

• 10 μA

• <500 μs="">

• 1 μA

• <2 ms="">

• 100 μA

• <20 ms="">

• 10 μA

• <40 ms="">

• 1 μA

• <150 ms="">

直流浮动电压：输出电压可以从机架地电平上浮到±250VDC。
远端检测工作范围10:
HI和SENSE HI之间的电压=3V
LO和SENSE LO之间的电压=3V

电压输出净空：
200V量程：输出电压= 202.3V – 电源引线上的总压降（每条电源引线1Ω）
20V量程：输出电压= 23.3V – 电源引线上的总压降（每条电源引线1Ω）
超温保护：内部检测温度过载时将设备置为待机模式。
电压源量程变化过冲：<300mv +="">
电流源量程变化过冲：<较大量程的5% +="">

脉冲技术指标

最小可编程脉宽14,15：100μs。注：对于稳定电源在特定I/V输出端和负载上的最小脉宽可以大于100μs。
脉宽编程分辨率：1μs。
脉宽编程精度15：±5μs。
脉宽抖动：50μs（典型值）。

注

1. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
2. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
3. 在30°C环境下，无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可参考2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下降信息。
4. 对于电源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相应的电流极限精度指标上增加极程的0.06%。技术指标适用于支持的电源宿工作模式。
5. 在30°C环境下，无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可参考2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它功率下降信息。
6. 10A量程仅适用于脉冲模式。
7. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
8. 在30°C环境下，无论负载多大都是全电源工作。在30°C以上和/或电源宿工作模式下，可参考2600B系列参考手册的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查询其它 功率下降信息。
9. 对于电源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相应的电压源指标上增加柔度量程的10%和极限设定值的±0.02%。对于200mV量程，要额外增加120mV的不确定值。
10. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
11. 从脉冲开始到off-time开始的时间；如下图所示。

12. 在电源宿模式下（第II和IV象限）且环境温度高于30°C时，发热受限。欲了解更多信息， 可参见参考手册中的功率方程。
13. 电压源工作在1.5 A电流极限下。
14. 最小稳定脉宽的典型性能：

通常采用远端操作、4线检测和、固定量程进行测试。有关脉冲脚本的更多介绍， 请参见2600B参考手册。

仪表技术指标

电压测量精度 16, 17

温度系数（0°–18°C & 28°–50°C）19：±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于普通模式，不适用于高电容模式。

电流测量精度 17

* 100 pA量程不适用于2634B型。
电流测量稳定时间（在Vstep之后测量稳定的时间）26: 在固定量程上处理电源设置命令后达到最终值0.1%所需的时间。Vout= 2V，除非另行说明。电流量程：1mA。稳定时间：<>
温度系数（0°–18°C & 28°–50°C）27: ±(0.15×精度指标)/°C。仅适用于普通模式，不适用于高电容模式。

接触检查28 （不适合2634B）

其它仪表技术指标

负载阻抗：
普通模式：10nF（典型值）。高电容模式：50μF（典型值）
共模电压：250VDC。
共模隔离度：>1GΩ，<>
过量程：101%的电源量程，102%的测量量程
检测引线电阻：额定精度为1kΩ。
检测输入阻抗：>1014Ω

注

16. 对于源精度指标的HI引线压降每伏要增加50μV。
17. 对于NPLC设置<>

18. 适用于单通道显示模式。
19. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
20. 适用于单通道显示模式。
21. 四线远端检测仅适用于所选的电流表模式。电压测量只能设置为200mV或2V量程。
22. 10-NPLC，11点中值滤波器，量程<>
23. 在默认的指标条件下：±(0.15% + 750fA)。
24. 在默认的指标条件下：±(0.15% + 1pA)。
25. 10A量程仅适用于脉冲模式。
26. 延迟因数设置为1。柔度等于100mA。
27. 高电容模式精度仅适用于23°C±5°C。
28. 包括测量SENSE HI到HI和SENSE LO到LO接触电阻

高电容模式29, 30, 31

电压源输出稳定时间：在固定量程上处理完源极命令后，达到最终值的0.1%所需的时间。电流极限=1A。

• 电压源量程

• Cload =4.7μF的稳定时间

• 200 mV

• 600 μs （典型值）

• 2 V

• 600 μs （典型值）

• 20 V

• 1.5 ms （典型值）

• 200 V

• 20 ms （典型值）

电流测量稳定时间：在电压源稳定在固定量程上后，达到最终值的0.1%所需的时间。下列值适用于Vout=2V，除非另行说明。

• 电压源量程

• 稳定时间

• 1.5 A – 1 A

• <120 μs（典型值）="">load > 6Ω)

• 100 mA – 10 mA

• <100>

• 1 mA

• < 3="">

• 100 μA

• < 3="">

• 10 μA

• < 230="" ms="">

• 1 μA

• < 230="" ms="">

使用HIGH-C脚本的电容漏流性能32: 负载=5μF||10MΩ
测试：5V步进与测量。200ms（典型值）@50nA。
模式改变延迟：
100μA电流量程以上：
进入高电容模式的延迟：10ms
离开高电容模式的延迟：10ms
1μA和10μA电流量程：
进入高电容模式的延迟：230ms
离开高电容模式的延迟：10ms
电压表输入阻抗：30GΩ并联3300pF。
噪声，10Hz-20MHz（20V量程）：典型值<30mv>
电压源量程改变过冲（用于20V量程以下）：典型值<400mv +="">
过冲进入200kΩ负载，20MHz带宽。

注

29. 高电容模式指标仅适用于直流测量。
30. 100nA以下量程不适用于高电容模式。
31. 高电容模式利用锁定的量程。禁用自动量程功能。
32. 部分KI厂商脚本。详细信息参考手册。

公共指标

IEEE-488：兼容IEEE-488.1。支持IEEE-488.2公共命令和状态模型拓扑。
USB控制 (背面): USB 2.0器件，TMC488协议。
RS-232：波特率从300bps到115200bps。数据位数、奇偶类型和流程控制（RTS/CTS硬件或没有）可编程。
以太网：RJ-45接头，LXI Class C，10/100BT，无自动翻转功能。
扩展接口：利用TSP-Link扩展接口可实现支持TSP功能的仪器相互触发和通信。(不适用2634B)
线缆类型：5e类线或更的LAN交叉线。
长度：任意两台支持TSP功能的仪器之间最长3米。
LXI兼容性：LXI Class C 1.4
LXI时序：总输出触发响应时间：最小值为245μs ，典型值为280μs ，（不值）。接收LAN[0-7]事件延迟：未知。产生LAN[0-7]事件 延迟：未知。
数字I/O接口：(不适用2634B)

接头：25针D型母接头
输入/输出引脚：14个开漏极I/O脚
输入电压：5.25V
最小输入电压：-0.25V
逻辑低输入电压：0.7V，+850μA
最小逻辑高输入电压：2.1V，+570μA。
源电流（流出数字I/O脚）：+960μA。
宿电流@逻辑低电压（0.7V）：-5.0mA。
宿电流（流入数字I/O脚）：-11mA。
5V电源引脚：上限为600mA，固态熔丝保护。
安全互锁引脚：有效高输入。必须从外部加载>3.4V@24mA（值6V）到该引脚上，以确保200V操作。该信号通过一个10kΩ电阻下拉到机壳地。当INTERLOCK信号<>

USB文件系统（前部）：USB 2.0主控制器：海量存储类设备。
电源：100V～250VAC，50～60Hz（自动检测），240 VA。
冷却：强制风冷。侧面进风，背板排风。在以机架式安装时，一侧不可阻塞。
EMC：符合欧盟指令2004/108/EEC、EN 61326-1。
安全性：符合欧盟指令73/23/EEC、EN 61010-1和UL 61010-1。
尺寸：89mm 高 × 213mm 宽 × 460mm 深 （3½ in × 8⅜ in× 17½ in ）。台面配置（带手柄和脚）：104mm 高 × 238mm 宽 × 460mm 深 （4⅛ in × 9⅜ in × 17½ in ）。
重量：2635B：4.75kg （10.4 lbs），2634B，2635B：5.50kg （12.0 lbs）。
工作环境：于室内使用。海拔：高于海平面2000米。
工作：0°–50°C，70% R.H.35°C。降低3% R.H./°C，35°–50°C。
存储：–25°C 到 65°C。

适用于2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B, 2635B和2636B。

测量速度指标 1, 2, 3

60Hz（50Hz）下扫描操作速度（每秒操作次数）:

60Hz（50Hz）下单测量速度（每秒操作次数）:

量程改变速度：当量程>10μA时，典型值<><>
源量程改变速度：当量程>10μA时，典型值<><>
源函数改变速度：典型值<>
命令处理时间：在收到smux .source .levelv 或smux .source .leveli 命令后，输出开始变化所需的时间典型值<>

注

1. 在下列配置下利用2602B、2612B和 2636B对通道A进行测试：PC硬件（Pentium® 4 2.4GHz、512MB RAM、National InstrumentsPCI-GPIB）。驱动（NI-486.2 Version 2.2 PCI-GPIB）。软件（Microsoft® Windows® 2000、Microsoft® Visual Studio 2005、VISA version 4.1）。
2. 除了电流量程小于1mA。
3. 2635B/2636B采用默认测量延迟，禁用滤波器

触发与同步技术指标 1

触发：
触发输入到触发输出：0.5μs，典型值。
触发输入到源改变2：10μs，典型值。
触发定时精度：±2μs，典型值。
LXI触发之后源改变2：280μs，典型值。

同步：
单节点同步的源改变4：<>
多节点同步的源改变4：<>

注

1. TSP-Link不适用于2604B、2614B和 2634B。
2. 固定源改变，没有极性变化。

适用于2601B, 2602B, 2604B, 2611B, 2612B, 2614B, 2634B, 2635B和2636B。

补充说明

面板界面：双线真空荧光显示器（VFD），带小键盘和旋转按钮。

显示：

• 显示出错信息和用户定义信息

• 显示源和极限设置信息

• 显示电流和电压测量

• 查看存储在专用读数缓冲区中的测量数据

小键盘操作：

• 改变主界面设置

• 保存和恢复仪器设置

• 加载并执行厂商和用户定义的测试脚本（即测试序列）， 提示输入信息，并将结果发送到显示器

• 将测量数据保存到专用读数缓冲区

编程：可从任意主机接口访问嵌入式测试脚本处理器（TSP）。响应各条仪器控制

命令。响应由仪器控制命令和测试脚本语言（TSL）语句（例如分支、循环、数学）组成的高速测试脚本。无需主机干预，能够执行存储在存储器中的高速测试脚本。

最小可用存储容量：16MB（约250000行TSL代码）。
Test Script Builder：用于构建、执行和管理TSP脚本的集成开发环境。包括一个仪器控制台，能够通过交互式方式与任意支持TSP功能的仪器通信。需要：

• VISA（CD上包括NI-VISA）

• Microsoft .NET Framework（CD内提供）

• 吉时利I/O层（CD内提供）

• Pentium III 800MHz或更快的个人电脑

• Microsoft® Windows® 98、NT、2000或XP

软件接口：TSP Express (嵌入式)、Direct GPIB/VISA、READ/WRITE，利用VB、VC/C++、LabVIEW、LabWindows/CVI等读写
读数缓冲器：为测量数据留有专用存储区域。读数缓冲器是测量单元阵列。每个单元可以包含以下几项：

• 测量

• 测量状态

• 时标

• 源设置（测量进行的时候）

• 量程信息

每个数字源表通道保留两个读缓冲器。可通过面板的STORE键填充读缓冲器，通过RECALL键或主机接口进行检索。
缓冲器大小，带时标和源设置：>60000个样本
缓冲器大小，不带时标和源设置：>140000个样本
系统扩展：通过TSP-Link扩展接口，所有支持TSP功能的仪器都可以相互触发和通信。如下图所示：

每台数字源表具有两个TSP-Link接头，以便于将仪器链接在一起。

• 一旦数字源表通过TSP-Link互连在一起，计算机就可以通过任一数字源表 的主接口，访问每台数字源表的所有资源。

• 最多32个TSP-Link节点可以互连在一起。每台数字源表占用一个TSP-Link 节点。

定时器：带1MHz输入时钟自由计数的47位计数器。每次仪器加电时复位。每隔4年循环一次。
时标：当触发每个仪器时，TIMER值自动保存。
分辨率：1μs
精度：±100ppm

泰克2600B 系列 SourceMeter SMU 仪器