矩形磁控阴极
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冠乾科技(上海)有限公司
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矩形磁控阴极:
随着工业应用对速度,可控性和产能越来越高的要求,我们开发了合适的阴极来适应这些要求更大、更快的制造工艺。 更广泛的解决方案 对于那些需要在大面积基板上沉积或必须实现的吞吐量的应用,矩形磁控阴极提供了的解决方案。 优势 矩形磁控阴极采用封装的异形钕铁硼稀土磁体和水冷技术,提供的性能。 标准配件 我们使用ISO NW标准配件,以及金属密封法兰。所有的维护操作都在大气中进行,使用标准的O型圈密封,易于安装在任何标准的真空系统中。 电源兼容性 低阻抗头提供了射频、直流 、中频直流、直流脉冲以及微波电源的兼容性。 经过验证的性能 这些磁控阴极提供的的性能,使得成为行业的新标准。 在极低的压力下以的功率工作,为您提供在任何应用中的均匀性、利用率和速率的平衡。 任何长度 矩形阴极宽度可从1.5英寸到16英寸,长度可达12英尺。 当然,我们具备设计并构建定制任何满足您的生产需求的磁控阴极。 * 致力于帮助我们的客户开发生产力的和具有成本效益的薄膜应用,提供*的磁控阴极,高品质的沉积材料,全面的技术支持。我们随时准备着以确保您的满意度。
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