磁控溅射脉冲电源

随着科学技术不断地发展，磁控溅射技术也得到了快速的发展，但在磁控溅射过程中，关键部分是脉冲磁控溅射电源，目前，脉冲磁控溅射电源向大功率、高频化方向发展，由于开关电源的高频化使得开关电源的损耗增加，因此，我公司设计生产的大功率磁控溅射脉冲电源采用了移相式软开关技术，大大降低了电源的开关损耗，提高了电源的效率，利用输出电流保护点设置的方法，是输出电流任意调节，实现了快速反应的过流保护。 参考价面议

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