三坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。三坐标测量仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。

　　单支柱测量台移动型三坐标测量仪介绍：

　　单支柱测量台移动型，轴为主轴在垂直方向移动，支柱上附有轴导槽，支柱被固定在测量仪本体上。测量时，测量台在水平面上沿着轴和轴方向作移动。

　　轴移动悬臂型三坐标测量仪介绍：

　　轴移动悬臂型，轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿着垂直轴的水平悬臂梁在轴方向移动，悬臂梁沿着在水平面的导槽在轴方向移动，且垂直于轴和轴。此型为三边开放，容易装拆工件，且工件可以伸面即可容纳较大工件，但因悬臂会造成精度不高。

　　移动桥架型三坐标测量仪介绍：

　　移动桥架型，为常用的三坐标测量仪的结构，轴为主轴在垂直方向移动，厢形架导引主轴沿水平梁在方向移动，此水平梁垂直轴且被两支柱支撑于两端，梁与支柱形成“桥架”，桥架沿着两个在水平面上垂直和轴的导槽在轴方向移动。因为梁的两端被支柱支撑，所以可得到小的挠度，且比悬臂型有较高的精度。

　　三坐标测量仪机型介绍：

　　结构型式：三轴花岗岩、四面全环抱的德式活动桥式结构

　　传动方式：直流伺服系统 预载荷高精度空气轴承

　　长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.1μm

　　测头系统：雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针

　　机 台：高精度（00级）花岗岩平台

　　使用环境：温度(20±2)℃，湿度40%-70% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h

　　空气压力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

　　空气流量：25 L/min

　　长度精度MPEe： ≤2.1 L/350 (μm)

　　探测球精度MPEp： ≤2.1μm

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