椭圆偏振测厚仪

椭圆偏振测厚仪

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具体成交价以合同协议为准
2024-04-04 15:53:01
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北京润恒奥仪器仪表设备有限公司

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产品简介

技术指标:编号名称参数1测量范围1nm-300nm2测量最小值≤1nm3入射角30°~90°误差≤0

详细介绍

技术指标:

编号

名称

参数

1

测量范围

1nm-300nm

2

测量最小值

≤1nm

3

入射角

30°~90°误差≤0.1°

4

偏振器方位角读数范围

0°~180°

5

度盘刻度

每格2度

6

游标最小读数

0.05°

7

光学中心高度

152mm

8

工作台直径

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主机重量

20kg


仟渔/
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