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高纯过滤器
满足SEMI E49.8-96严格的超高纯气体系统的过滤要求（SCF系列）。
具有直通、全焊接结构（FW系列）。
全焊接直通型过滤器（FW系列）
规格
工作压力 | 达到6000 psig (413 bar) |
压差 | 达到600psi (41.3 bar) |
温度 | –20到900℉（–28到482℃） |
壳体材料 | 316不锈钢 |
滤芯 | |
材料 | 316L不锈钢烧结式或不锈钢折叠网式 |
标称孔径 | 0.5到15μm |
端接 | |
类型 | 世伟洛克卡套管接头、NPT、VCR®面密封接头 |
尺寸 | 1/4 in.; 6 mm |
超高纯（UHP）气体过滤器（SCF系列）
规格
工作压力 | 达到3000 psig (206 bar) |
压差 | 达到145 psi (10 bar) |
温度 | 达到122°F (50°C) |
流量 | 2700 std L/min |
壳体材料 | 316L VAR 不锈钢 |
内表面处理 | 电抛光, 5 μin (0.13 μm) Ra |
滤芯 | |
材料 | 高纯氧化铝 |
过滤等级 | > 99.999999 % at 0.003 μm |
端接 | |
类型 | VCR 面密封接头 |
尺寸 | 1/4, 1/2, 和3/4 in. |
