Gaertner Stokes Waferskan椭偏仪LSE-WS
Gaertner stokes waferskan™ ellipsometer LSE-WS
300毫米Stokes Waferskan™椭圆仪
LSE-WS Stokes WAFERSKAN椭圆仪是一种高速薄膜厚度测绘系统，每秒测量一个位置，包括载物台行程！它使用*的 StokesMeter™技术（曾荣获 Photonics Spectra和R＆D 100新产品奖），可在任何300mm的晶圆上提供无倾斜，无焦点，2D / 3D色彩厚度和索引图像。该单元的优雅设计提供了的易用性和瞬时测量功能，其成本远低于传统的生产控制计量系统。LSE-WS价格合理，是高精度扫描椭圆仪中的流行选择。
特征
高精度和高性能
LSE-WS模型建立在经过生产验证的Gaertner WAFERSKAN™椭偏仪系列产品之上，并在范围内广泛使用。从薄的栅氧化物到只有几十埃厚的聚酰亚胺和光致抗蚀剂，盖特纳以提供精确，可靠的结果而闻名。LSE-WS模型设定了高性能标准，可以满足当今要求更高的计量应用。
诸如氧化物，氮化物和光致抗蚀剂的单层膜可以被测量到亚埃精度。可以测量两层，三层和四层薄膜，这些薄膜具有已知的底层，例如顶层氧化层和顶层氧化层，或者顶层的厚度和折射率。Windows™软件增强了易用性和理解力。
出色的图形
测量结果显示在计算机显示屏上，可以发送到打印机。存储在文本数据文件中的结果以2D等高线或3D地图图像显示。图像可以旋转，倾斜，缩小或放大以立即查看和解释。
膜厚的二维轮廓图
膜厚的3D轮廓图
主屏幕
易于使用的
LSE-WS Stokes WAFERSKAN椭圆仪操作简单。用户与单个主程序屏幕交互，因此设置易于理解并且可以快速进行测量。可以轻松访问存储的配方以扫描不同的胶片和图案。只需单击一下鼠标，即可自动扫描类似的晶圆。操作员可以选择1、5、9或49点圆形测量，XY网格，直径或具有多达1000个测量点的极性扫描，并设置晶片边缘排除。
高精度平台
高质量步进电机平台可提供精确且可重复的位置。晶片通过真空保持在光学平台上。平台在编程的计算机控制下以快速而精确的步骤自动移动。包括载物台行程在内的每点测量时间少于一秒。步进精度优于10微米，可轻松设置覆盖区域和该区域内的点以进行自动扫描。
速度和稳定性
LSE-WS椭偏仪通过以70°入射角反射来自样品表面的偏振激光束进行测量，并几乎瞬时确定由样品引起的偏振变化。由于 StokesMeter™ 测量头中没有活动部件，因此即使连续使用数月也可以进行准确且可重复的测量。通过使用稳定的，光谱精确的，高信噪比的HeNe气体激光光源，可以进一步提高测量精度。
stokesmeter™技术的说明
这种*的设备无需移动部件，也不需要调制器，可以快速，准确地确定测量光束的完整偏振状态。
上图显示了用于同时测量所有四个Stokes光参数的StokesMeter™光旋光仪。待确定其偏振状态的光束以倾斜的入射角连续入射三个光电探测器表面，每个光电探测器表面均被部分光谱反射，并且每个光电探测器表面均产生与光电探测器的分数成比例的电信号。它吸收的辐射。第四光电探测器基本上吸收光，并检测其余的光。这样形成的四个输出形成一个4x1信号矢量I，它与输入斯托克斯矢量 S线性相关，即I = AS。所以，小号通过获得S =甲（-1）予。4x4仪器矩阵 A必须是非奇异的，这要求前三个检测器表面的入射平面都不同。对于给定的四个检测器布置，可以通过校准来计算或确定A。
技术优势
简单，紧凑的 StokesMeter™ 取代了由鼓，棱镜，编码器，开关，电动机和检测器及其相关电子设备组成的典型旋转分析仪组件。另外，消除了偏振器臂上的波片机构。这样就可以实现快速，精确，稳定的无运动部件椭偏仪。
斯托克斯（Stokes）椭圆仪的一项出色功能是对由于样品不平整而导致的角光束偏差的微小变化进行补偿。这种补偿允许在整个晶片表面上进行快速，连续扫描，而无需暂停以校正聚焦和倾斜。当扫描相似的晶片时，高速，无倾斜，无焦点，自动操作是明显的好处。
上面显示的可选LMS Microspot系统
可选的Microspot System LMS，
用于通过15微米测量激光束直径测量晶圆上的小区域。10微米载物台定位和CCD摄像机可在PC上查看测量区域，从而允许使用*的 StokesMeter™ 技术查看和测量小至15 X 45微米的区域。
可选的小光点LSS光学系统 将样品上的标准1毫米激光束减少到0.25 x 0.75毫米
可选的L-SCAT太阳能电池/
散射样品测量 太阳能电池行业中常见的粗糙散射样品很难用大多数椭圆偏振仪精确测量，因为信号强度损失且测量光束去极化。尽管有提高信号强度和捕获更多散射光的方法，但是处理去极化要困难得多，理想情况下，需要确定极化的完整状态，即测量4个斯托克斯参数 s0， s1， s2， s3。盖特纳斯托克斯椭偏做到这一点自然是我们 StokesMeter ä 偏振计用作椭圆仪分析仪。这使Stokes椭偏仪具有的功能，可以立即将测量光束的偏振和非偏振分量分开，从而仅基于光的全部偏振分量就可以对薄膜厚度和折射率进行高精度测量。L-SCAT散射选项包括对硬件的修改，可以捕获更多来自粗糙，有纹理的表面的散射光，并且可以显示偏振度P的程序。 但是请记住，某些样本可能太粗糙而散射太多的光用椭圆偏振法测量。
可选的Stokes校准套件L118-KIT
使用4个Gaertner可追溯晶圆加玻璃（L118G-KIT）或
4个NIST可追溯晶圆加玻璃（L118N-KIT）重新校准任何Stokes椭圆仪。 中号OST用户将 不需要椭偏仪校准。适用于具有极其严格的公差和法规遵从用户的的半导体制造商。
Stokes Waferskan™椭偏仪LSE-WS规格
| 对准： | 倾斜度和工作台高度通过计算机校准屏幕显示。专有的倾斜和工作台高度系统可校正普通的样品倾斜和不平整度，而无需重新调整样品或复杂，昂贵且缓慢的自动聚焦系统。 |
| 入射角： | 70度 |
| 测量方法： | *的StokesMeter无需任何移动部件和调制器，只需4个固定式硅探测器即可读取完整的光束偏振，因此测量准确且稳定。 |
| 测量时间： | 每点1秒，包括舞台行程。 |
| 测量激光： | 光谱精确，稳定，持久的HeNe 6328A激光器，光束直径为1毫米（在70的晶片上为1x3毫米，典型寿命为3年以上。NIST使用类似的光源来生成校准标准。
可选的Microspot具有15 x 45微米的光斑， CCD摄像机查看。 |
| 对准激光： | 670 nm激光二极管 |
| 软件： | 2D / 3D彩色图形可在Windows™下运行 |
| 样品（晶圆）尺寸： | 直径标准可达300mm。保持真空（需要5英寸汞柱）。 |
| 阶段： | 精密步进电机在用户编程的计算机控制下，带有手动按钮超驰。150mm线性和360°旋转运动覆盖了样品上的任何点。可倾斜的桌子允许在X和Y平面上校正高达1°的样品不平整度。每点1秒以300mm的尺寸映射任何尺寸的晶片。 |
| 舞台精度： | 10微米以内 |
| 数据输出： | 2D / 3D彩色图像的胶片厚度，折射率和位置，以用于监视，文件或打印机。文本数据文件很容易导出到其他程序。 |
| 电脑： | 随附Windows™10笔记本电脑 |
| 膜厚范围： | 基板或1、2或3个已知子层上的0-60,000埃 |
| 精度和重复性： | 在大多数测量范围内低于亚埃。 |
| 折光率： | 在大多数测量范围内为±0.0005。 |
| 功率： | 115V，100V，220V，240V（50/60 Hz） |
| 尺寸（LSE-WS）： | 高度：18英寸宽度：28英寸深度：20英寸
净重：85磅。运输重量：200磅。 |
| CE合规性： | S系列椭偏仪符合欧洲安全指令并带有CE标志。 |
| CDRH合规性： | 盖特纳（Gaertner）提供的所有激光椭圆仪均符合CDRH要求21CFR 1040，用于发出小于1 mW的II类激光产品或小于5 mW的IIIb类激光产品。与任何明亮的光源（例如太阳灯或弧光灯）一样，操作员不得直接凝视激光束或从高反射表面反射激光束。 |
| 保证： | 1年保修涵盖所有零件和人工，不包括运输费用 |
