小流量液体流量计容积式流量计常见的有圆柱齿轮式和椭圆齿轮式仪表，通过磁性或光电检出齿轮转数，常用于测量石油制品，如动力机耗油量计量、润滑油流量监测，以及各种添加剂注入量控制等。其优点是不受黏度、密度、流速分布影响，可测量高黏度液体；液体流量计缺点是有活动部件会产生磨损微粒，压损相对较大。齿轮式仪表zui小满度流量为4L/min，度±0.5%；椭圆齿轮式仪表zui小满度流量为0.1L/min，度±2%，范围度低黏度液体为10:1，中等黏度液体为100:1，高黏度液体则更高。
                            
        液体流量计是在上世纪80年代初半导体制造业需求的推动下得到发展的，现仍是其主要使用产业。热式流量计是当前气体小流量测量的主导品种，zui小满度流量为5mL/min（标准状态），测量度±（1~2）%FS。