HORIBA株式会社堀场制作所 的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500

高稳定性质量流量模块—气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块

概要

最的压力不敏感型高性能质量流量控制器: D500

高稳定性质量流量模块——气体流量控制不受上游和下游压力波动差影响、PI（压力不敏感型）质量流量模块

特征

压力不敏感性
高性能的压力不敏感型功能可有效简化气体供应系统

多量程,多气体,多种压力的解决方案
新功能允许用户改变气体种类、满量程内的流量,供应压力范围

G-LIFE 自我检测功能(气体定律检查集流节流方程)
*G-Life功能允许操作人员进行流量计自我监测,通常会在三秒内提高生产能力

高精度
*的三维调节已改进工艺气体的流量精度

快速响应
响应速度＜0.8秒
已实现精准且稳定的流量控制

动态范围
控制范围：0.2% F.S. ~ 99% F.S.

制造: HORIBA STEC