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产品说明:
本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样的仪器。
技术指标:
玻璃处理室:∮100毫米,高度130毫米
试样台尺寸:∮40毫米可同时放6个样品杯
金靶尺寸:∮58毫米
真空系统:直联旋片真空泵1升/秒
真空检测:皮氏计
真空保护:20Pa配有微量充气阀调节工作真空
工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气调节
配置:内置一块金鈀
应用领域:
金的离子溅射