光谱椭偏仪

光谱椭偏仪

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具体成交价以合同协议为准
2023-08-05 11:05:50
202
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深圳市迈昂科技有限公司

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产品简介

通过椭偏参数、透射/反射等参数测量,实现各种单层到多层的各向同性/各向异性薄膜膜厚、光学常数快速表征

详细介绍

一、产品优势


● 专业光谱椭偏解决方案


● 超高精度、快速无损测量


● 系列配置灵活,支持功能定制设计


● 丰富的材料数据库与算法模型库


支持多功能灵活配置

系列配置灵活,可根据不同应用场景支持多功能模块定制化配置


自动变角模块


自动找焦模块


Mapping测量模块


微光斑测量模块


二、应用案例


三、系列产品


四、技术规格



型号

SE-VM

SE-L

SE-Mapping

SE-VE

自动化程度

自动变角

固定角+mapping

固定角

应用定位

通用型

自动型

检测型

经济型

基本功能

Psi/Delta、N/C/S、R/T等光谱

Psi/Delta、N/C/S、R等光谱

分析光谱

380-1000nm(支持扩展至210-1650nm)

400-800nm

单次测量时间

0.5-5s

重复性测量精度

0.01nm

0.05nm

光斑大小

大光斑2-4mm,微光斑200μm/100um

大光斑2-4mm

折射率重复性精度

0.0005

0.0001

入射角范围

45-90°(5°步进)

45-90°

65°

65°

入射角调节方式

手动变角

自动变角

固定角

固定角

找焦方式

手动找焦

自动找焦

手动找焦

手动找焦

Mapping行程

不支持

100*100mm(可选配)

300*300mm(可选配)

不支持

支持样件尺寸

至180mm

至200mm

至300mm

至160mm

● 重复性精度指标针对100nmSiO2/Si标准样件30次重复性测量;

● 有关Mapping型号命名与其行程尺寸有关,并支持尺寸定制;

● 仪器具体技术参数需与实际功能模块、配件有关,表中数据仅供参考。




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