概 述

气体质量流量计是采用微机电系统(MEMS)流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年结合，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表技术性能处于水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等优点；针对使用环境, 融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装、维护方面也具有其的优越性，可应用于空气、氮气、氧气、二氧化碳、惰性气体，以及符合国家标准的天然气、液化石油气等气体计量。

产 品 特 点

-自动进行温度和压力补偿

- MEMS集成传感器增加了量程范围

- 专有的低功耗技术确保了更长的电池寿命

- 体积小、重量轻降低了安装及运输成本

- 数据储存量大，可轻松下载和分析历史数据　 　 　

- 可进行数据通讯和网络操作

产 品 结 构

工 作 原 理

本微机电系统（MEMS）芯片传感技术，是在硅芯片上集成了机械和电子的传感和控制功能。它并不是简单地将机械和电子功能微缩在芯片上，而是采用了现代材料制作技术与大规模集成电路技术相结合获得新的机电特性。微机电系统芯片可获得某些宏观机电器件所不能达到的功效。一个典型的微机电系统芯片包含有微传感器、微调节器及智能电子控制线路。其传感器能感应环境的热、机械、磁、光、化学或生物特性，通过微调节器及智能电子控制线路来完成器件所赋予的功能。本流量计采用了本公司生产的热质量气体流量传感芯片，属于质量流量传感方式的流量计，它通过气体流动产生的热场变化来测量气体的流量。由于不同质量的气体对热场的变化具有不同的影响，因而，它所测量的流量为质量流量。

主要技术参数

其它技术参数